人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
5期
1261-1265
,共5页
王彦利%杨元政%高振杰%谢致薇%陈先朝%何玉定
王彥利%楊元政%高振傑%謝緻薇%陳先朝%何玉定
왕언리%양원정%고진걸%사치미%진선조%하옥정
射频磁控溅射%Zn1 -xMgxO薄膜%禁带宽度
射頻磁控濺射%Zn1 -xMgxO薄膜%禁帶寬度
사빈자공천사%Zn1 -xMgxO박막%금대관도
本文通过在ZnO靶材上放置高纯Mg片,运用射频磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.1,0.16,0.18,0.24)薄膜.用X射线衍射仪、扫描电镜、紫外-可见-分光光度计等研究了Zn1-xMgxO薄膜的组织结构和性能.结果表明:Zn1-xMgxO薄膜呈ZnO的纤锌矿结构,在ZnO晶格中Mg2+有效地替代了Zn2+.样品表面比较平整,颗粒均匀致密,薄膜质量较高,且在可见光范围内光透过率均为90％左右,具有极好的透光性；此外,随着Mg掺入量的增多,Zn1-xMgxO薄膜的吸收边出现蓝移现象,实现了对禁带宽度的调节.
本文通過在ZnO靶材上放置高純Mg片,運用射頻磁控濺射法在普通玻璃襯底上製備瞭Zn1-xMgxO(x=0.1,0.16,0.18,0.24)薄膜.用X射線衍射儀、掃描電鏡、紫外-可見-分光光度計等研究瞭Zn1-xMgxO薄膜的組織結構和性能.結果錶明:Zn1-xMgxO薄膜呈ZnO的纖鋅礦結構,在ZnO晶格中Mg2+有效地替代瞭Zn2+.樣品錶麵比較平整,顆粒均勻緻密,薄膜質量較高,且在可見光範圍內光透過率均為90％左右,具有極好的透光性；此外,隨著Mg摻入量的增多,Zn1-xMgxO薄膜的吸收邊齣現藍移現象,實現瞭對禁帶寬度的調節.
본문통과재ZnO파재상방치고순Mg편,운용사빈자공천사법재보통파리츤저상제비료Zn1-xMgxO(x=0.1,0.16,0.18,0.24)박막.용X사선연사의、소묘전경、자외-가견-분광광도계등연구료Zn1-xMgxO박막적조직결구화성능.결과표명:Zn1-xMgxO박막정ZnO적섬자광결구,재ZnO정격중Mg2+유효지체대료Zn2+.양품표면비교평정,과립균균치밀,박막질량교고,차재가견광범위내광투과솔균위90％좌우,구유겁호적투광성；차외,수착Mg참입량적증다,Zn1-xMgxO박막적흡수변출현람이현상,실현료대금대관도적조절.
