功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2012年
1期
63-69
,共7页
纳米材料%碳纳米管%综述%互连
納米材料%碳納米管%綜述%互連
납미재료%탄납미관%종술%호련
随着集成电路的不断发展,电路中互连线规模越来越大,尺寸越来越小,需要承受的电流密度越来越大.在这种趋势下,传统的铜互连线的有效性和可靠性都随之变差.由于碳纳米管具有良好的电学,热学和机械性能,使其成为目前研究较热的互连材料之一.本文概述了碳纳米管用于集成电路互连的优势,碳纳米管互连的电路模型,碳纳米管互连面临的挑战及其最新的研究进展,并展望了碳纳米管作为集成互连的研究前景.
隨著集成電路的不斷髮展,電路中互連線規模越來越大,呎吋越來越小,需要承受的電流密度越來越大.在這種趨勢下,傳統的銅互連線的有效性和可靠性都隨之變差.由于碳納米管具有良好的電學,熱學和機械性能,使其成為目前研究較熱的互連材料之一.本文概述瞭碳納米管用于集成電路互連的優勢,碳納米管互連的電路模型,碳納米管互連麵臨的挑戰及其最新的研究進展,併展望瞭碳納米管作為集成互連的研究前景.
수착집성전로적불단발전,전로중호련선규모월래월대,척촌월래월소,수요승수적전류밀도월래월대.재저충추세하,전통적동호련선적유효성화가고성도수지변차.유우탄납미관구유량호적전학,열학화궤계성능,사기성위목전연구교열적호련재료지일.본문개술료탄납미관용우집성전로호련적우세,탄납미관호련적전로모형,탄납미관호련면림적도전급기최신적연구진전,병전망료탄납미관작위집성호련적연구전경.
