现代化工
現代化工
현대화공
MODERN CHEMICAL INDUSTRY
2012年
7期
85-87
,共3页
方旭升%刘勇%陈吉%罗旭峰%谢淼波%何大伟
方旭升%劉勇%陳吉%囉旭峰%謝淼波%何大偉
방욱승%류용%진길%라욱봉%사묘파%하대위
多晶硅%原料%添加%四氯化硅%尾气
多晶硅%原料%添加%四氯化硅%尾氣
다정규%원료%첨가%사록화규%미기
提高精馏塔塔顶温度,在原料三氯氢硅中混入体积分数0.9％～20.3％的四氯化硅；调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度,弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响.显著降低了尾气组分中四氯化硅的含量,而多晶硅产品品质和沉积速度无明显变化.优化条件下,进气中STC质量分数从4.21％增加到18.11％,尾气中STC质量分数从32.05％减小到25.62％,尾气比进气中STC质量分数增加的倍率由6.61减小到0.41.
提高精餾塔塔頂溫度,在原料三氯氫硅中混入體積分數0.9％～20.3％的四氯化硅；調整瞭進入還原爐的混閤氣流量和硅棒溫度,弱化瞭四氯化硅的加入對硅沉積速度的不利影響.顯著降低瞭尾氣組分中四氯化硅的含量,而多晶硅產品品質和沉積速度無明顯變化.優化條件下,進氣中STC質量分數從4.21％增加到18.11％,尾氣中STC質量分數從32.05％減小到25.62％,尾氣比進氣中STC質量分數增加的倍率由6.61減小到0.41.
제고정류탑탑정온도,재원료삼록경규중혼입체적분수0.9％～20.3％적사록화규；조정료진입환원로적혼합기류량화규봉온도,약화료사록화규적가입대규침적속도적불리영향.현저강저료미기조분중사록화규적함량,이다정규산품품질화침적속도무명현변화.우화조건하,진기중STC질량분수종4.21％증가도18.11％,미기중STC질량분수종32.05％감소도25.62％,미기비진기중STC질량분수증가적배솔유6.61감소도0.41.
