江西科学
江西科學
강서과학
JIANGXI SCIENCE
2005年
5期
527-530
,共4页
张景基%赖珍荃%王震东%钟双英%王根水%孙瑾兰%褚君浩
張景基%賴珍荃%王震東%鐘雙英%王根水%孫瑾蘭%褚君浩
장경기%뢰진전%왕진동%종쌍영%왕근수%손근란%저군호
PZT铁电薄膜%射频磁控溅射%退火温度
PZT鐵電薄膜%射頻磁控濺射%退火溫度
PZT철전박막%사빈자공천사%퇴화온도
实验采用射频磁控溅射工艺,在较低的衬底温度(370℃)、纯Ar气氛中和在(111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上用陶瓷靶Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)制备具有完全钙钛矿结构的多晶PZT(52/48)铁电薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性,然后在大气环境中对沉积的PZT薄膜进行快速热退火处理.用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)和Auger电子能谱(AES)测量其组分,X射线衍射仪(XRD)分析PZT薄膜的相结构和结晶取向,RT66A标准铁电测试系统分析Pt/PZT/Pt/Ti/SiO2/Si电容器的电学特性.结果表明:PZT铁电薄膜具有较高的剩余极化(Pr=44.9μC/cm2)和低的漏电流(10-8A量级).
實驗採用射頻磁控濺射工藝,在較低的襯底溫度(370℃)、純Ar氣氛中和在(111)Pt/Ti/SiO2/Si襯底上用陶瓷靶Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)製備具有完全鈣鈦礦結構的多晶PZT(52/48)鐵電薄膜,沉積過程中基片架作15°搖襬以提高膜厚的均勻性,然後在大氣環境中對沉積的PZT薄膜進行快速熱退火處理.用電感耦閤等離子體原子髮射光譜(ICP-AES)和Auger電子能譜(AES)測量其組分,X射線衍射儀(XRD)分析PZT薄膜的相結構和結晶取嚮,RT66A標準鐵電測試繫統分析Pt/PZT/Pt/Ti/SiO2/Si電容器的電學特性.結果錶明:PZT鐵電薄膜具有較高的剩餘極化(Pr=44.9μC/cm2)和低的漏電流(10-8A量級).
실험채용사빈자공천사공예,재교저적츤저온도(370℃)、순Ar기분중화재(111)Pt/Ti/SiO2/Si츤저상용도자파Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)제비구유완전개태광결구적다정PZT(52/48)철전박막,침적과정중기편가작15°요파이제고막후적균균성,연후재대기배경중대침적적PZT박막진행쾌속열퇴화처리.용전감우합등리자체원자발사광보(ICP-AES)화Auger전자능보(AES)측량기조분,X사선연사의(XRD)분석PZT박막적상결구화결정취향,RT66A표준철전측시계통분석Pt/PZT/Pt/Ti/SiO2/Si전용기적전학특성.결과표명:PZT철전박막구유교고적잉여겁화(Pr=44.9μC/cm2)화저적루전류(10-8A량급).
