CAJ | 학술논문

研究了一种集高精度自准直仪与五棱镜于一体,采用角差法(角度变化量测试),实现大口径平面镜垂直状态下面形测试的方法.此方法的运用可实现对大口径平面镜面形的直接高精度检测,突破常规"以大测大"的高成本检测方法.本文阐述了测试装置的设计思想,对影响面形轮廓测试精度的因素进行了讨论.大口径平面镜面形的变化可通过其各点法线方向角度的变化量而反映出,采用高精度测试角度变化量的方法可计算获知面形轮廓状态.通过对大口经平面镜条带区域面形轮廓的测试原理分析,计算得出角差法(角度变化量测试)的测量不确定度.同时,由于对测试的高精度要求(纳米级),测试环境(温度、振动、气流扰动)也对测试结果有着不可忽视的影响,通过条带区域轮廓测试实验,对采样方式与环境影响进行了分析,从而得出在一定测试条件下,测量装置与环境对测量精度的影响程度,其测量不确定度可达到次纳米量级以上(扩展不确定度U=15.4～9.0 nm,取置信概率p＝0.99,包含因子κ＝3),基本满足测试需要.
연구료일충집고정도자준직의여오릉경우일체,채용각차법(각도변화량측시),실현대구경평면경수직상태하면형측시적방법.차방법적운용가실현대대구경평면경면형적직접고정도검측,돌파상규"이대측대"적고성본검측방법.본문천술료측시장치적설계사상,대영향면형륜곽측시정도적인소진행료토론.대구경평면경면형적변화가통과기각점법선방향각도적변화량이반영출,채용고정도측시각도변화량적방법가계산획지면형륜곽상태.통과대대구경평면경조대구역면형륜곽적측시원리분석,계산득출각차법(각도변화량측시)적측량불학정도.동시,유우대측시적고정도요구(납미급),측시배경(온도、진동、기류우동)야대측시결과유착불가홀시적영향,통과조대구역륜곽측시실험,대채양방식여배경영향진행료분석,종이득출재일정측시조건하,측량장치여배경대측량정도적영향정도,기측량불학정도가체도차납미량급이상(확전불학정도U=15.4～9.0 nm,취치신개솔p＝0.99,포함인자κ＝3),기본만족측시수요.