光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
8期
1343-1348
,共6页
焦长君%解旭辉%李圣怡%周林
焦長君%解旭輝%李聖怡%週林
초장군%해욱휘%리골이%주림
光学加工%离子束修形%离子溅射%去除效率
光學加工%離子束脩形%離子濺射%去除效率
광학가공%리자속수형%리자천사%거제효솔
分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率和不I司材料之间的相对去除效率与工艺参数的关系.基于Sigmund 溅射理论.建立了表征去除效率的指标一法向去除速率、体积去除速率和溅射产额与束能、束流以及入射角度之间的关系模型.以石英、微晶和K4玻璃等为样件,实验分析了去除效率与工艺参数的关系,验证了模型的正确性.分析结果表明,材料去除效率随束流线性增大,与束能平方根约呈线性关系;随着入射角度先缓慢增大,约在60～80°达到最大值.然后迅速降为0.不同材料之间的相对去除效率与束流无关;与束能的关系较弱,可以忽略;随角度变化较为明显.
分析瞭離子束加工光學鏡麵的材料去除效率和不I司材料之間的相對去除效率與工藝參數的關繫.基于Sigmund 濺射理論.建立瞭錶徵去除效率的指標一法嚮去除速率、體積去除速率和濺射產額與束能、束流以及入射角度之間的關繫模型.以石英、微晶和K4玻璃等為樣件,實驗分析瞭去除效率與工藝參數的關繫,驗證瞭模型的正確性.分析結果錶明,材料去除效率隨束流線性增大,與束能平方根約呈線性關繫;隨著入射角度先緩慢增大,約在60～80°達到最大值.然後迅速降為0.不同材料之間的相對去除效率與束流無關;與束能的關繫較弱,可以忽略;隨角度變化較為明顯.
분석료리자속가공광학경면적재료거제효솔화불I사재료지간적상대거제효솔여공예삼수적관계.기우Sigmund 천사이론.건립료표정거제효솔적지표일법향거제속솔、체적거제속솔화천사산액여속능、속류이급입사각도지간적관계모형.이석영、미정화K4파리등위양건,실험분석료거제효솔여공예삼수적관계,험증료모형적정학성.분석결과표명,재료거제효솔수속류선성증대,여속능평방근약정선성관계;수착입사각도선완만증대,약재60～80°체도최대치.연후신속강위0.불동재료지간적상대거제효솔여속류무관;여속능적관계교약,가이홀략;수각도변화교위명현.
