光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2009年
1期
56-61
,共6页
杨定宇%夏庚培%郑家贵%冯良桓%蔡亚平
楊定宇%夏庚培%鄭傢貴%馮良桓%蔡亞平
양정우%하경배%정가귀%풍량환%채아평
CdTe太阳电池%近空间升华法%CdS多晶簿膜
CdTe太暘電池%近空間升華法%CdS多晶簿膜
CdTe태양전지%근공간승화법%CdS다정부막
系统地研究了近空间升华法(CSS)制备CdS薄膜沉积速率的影响因素.发现CdS薄膜的沉积速率随升华源温度的升高而增大,但随衬底温度和沉积气压的上升而下降.对所制备样品的结构、表面形貌和光谱透过率特性进行了测试,结果表明:(1)不同氧分压下沉积的CdS薄膜沿(103)晶向择优生长.CdCl2氛围下退火后,(103)晶向的优势得到进一步加强;(2)不同氧分压制备的Cds薄膜致密且粒径均匀,晶粒的大小随着衬底温度的升高而增大,但薄膜的粗糙度也随之增大;(3)随着CdS薄膜厚度的减小,可见光中短波段的透过率有所增大,有利于提高太阳电池的短波光谱响应.并将CSS制备的(CdS多晶薄膜用于CdTe太阳电池的制作,获得了10.29%的光电转换效率,初步验证了该制作工艺的可行性.
繫統地研究瞭近空間升華法(CSS)製備CdS薄膜沉積速率的影響因素.髮現CdS薄膜的沉積速率隨升華源溫度的升高而增大,但隨襯底溫度和沉積氣壓的上升而下降.對所製備樣品的結構、錶麵形貌和光譜透過率特性進行瞭測試,結果錶明:(1)不同氧分壓下沉積的CdS薄膜沿(103)晶嚮擇優生長.CdCl2氛圍下退火後,(103)晶嚮的優勢得到進一步加彊;(2)不同氧分壓製備的Cds薄膜緻密且粒徑均勻,晶粒的大小隨著襯底溫度的升高而增大,但薄膜的粗糙度也隨之增大;(3)隨著CdS薄膜厚度的減小,可見光中短波段的透過率有所增大,有利于提高太暘電池的短波光譜響應.併將CSS製備的(CdS多晶薄膜用于CdTe太暘電池的製作,穫得瞭10.29%的光電轉換效率,初步驗證瞭該製作工藝的可行性.
계통지연구료근공간승화법(CSS)제비CdS박막침적속솔적영향인소.발현CdS박막적침적속솔수승화원온도적승고이증대,단수츤저온도화침적기압적상승이하강.대소제비양품적결구、표면형모화광보투과솔특성진행료측시,결과표명:(1)불동양분압하침적적CdS박막연(103)정향택우생장.CdCl2분위하퇴화후,(103)정향적우세득도진일보가강;(2)불동양분압제비적Cds박막치밀차립경균균,정립적대소수착츤저온도적승고이증대,단박막적조조도야수지증대;(3)수착CdS박막후도적감소,가견광중단파단적투과솔유소증대,유리우제고태양전지적단파광보향응.병장CSS제비적(CdS다정박막용우CdTe태양전지적제작,획득료10.29%적광전전환효솔,초보험증료해제작공예적가행성.
