南京大学学报（自然科学版）
南京大學學報（自然科學版）
남경대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2009年
2期
187-192
,共6页
操振华%李平云%陆海鸣%孟祥康
操振華%李平雲%陸海鳴%孟祥康
조진화%리평운%륙해명%맹상강
纳米压痕%纳米晶%Cu膜%力学性能
納米壓痕%納米晶%Cu膜%力學性能
납미압흔%납미정%Cu막%역학성능
采用纳米压痕法测量了不同厚度(180～1 000 nm)的纳米晶Cu膜的硬度和弹性模量.结果表明,Cu膜硬度与厚度的关系类似于Hall-Petch关系,而弹性模量与厚度无关,其值相比块体粗晶Cu下降了约20%,分析位移-载荷曲线发现晶粒尺寸越大的Cu膜其位移跳跃现象越明显.另外,对于不同厚度的Cu膜其临界剪切应力的范围约在3.02～4.07 GPa之间,基本接近粗晶Cu的理论剪切强度,位错塞积依然是其塑性变形的主要机制.
採用納米壓痕法測量瞭不同厚度(180～1 000 nm)的納米晶Cu膜的硬度和彈性模量.結果錶明,Cu膜硬度與厚度的關繫類似于Hall-Petch關繫,而彈性模量與厚度無關,其值相比塊體粗晶Cu下降瞭約20%,分析位移-載荷麯線髮現晶粒呎吋越大的Cu膜其位移跳躍現象越明顯.另外,對于不同厚度的Cu膜其臨界剪切應力的範圍約在3.02～4.07 GPa之間,基本接近粗晶Cu的理論剪切彊度,位錯塞積依然是其塑性變形的主要機製.
채용납미압흔법측량료불동후도(180～1 000 nm)적납미정Cu막적경도화탄성모량.결과표명,Cu막경도여후도적관계유사우Hall-Petch관계,이탄성모량여후도무관,기치상비괴체조정Cu하강료약20%,분석위이-재하곡선발현정립척촌월대적Cu막기위이도약현상월명현.령외,대우불동후도적Cu막기림계전절응력적범위약재3.02～4.07 GPa지간,기본접근조정Cu적이론전절강도,위착새적의연시기소성변형적주요궤제.
