电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
8期
41-44
,共4页
等离子体%反应离子%刻蚀原理%工艺实验
等離子體%反應離子%刻蝕原理%工藝實驗
등리자체%반응리자%각식원리%공예실험
介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果.与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量.该设备操作简单,是一种实用、高效的生产型工艺设备.
介紹瞭用于太暘能電池片生產工藝中的新型等離子體刻蝕機及設備的工作原理、構造、簡單的工藝試驗結果.與現在生產線上普遍使用的老式等離子體刻蝕機相比,它大大提高瞭生產產能,減少瞭設備維護工作量.該設備操作簡單,是一種實用、高效的生產型工藝設備.
개소료용우태양능전지편생산공예중적신형등리자체각식궤급설비적공작원리、구조、간단적공예시험결과.여현재생산선상보편사용적로식등리자체각식궤상비,타대대제고료생산산능,감소료설비유호공작량.해설비조작간단,시일충실용、고효적생산형공예설비.
