光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2010年
8期
117-121
,共5页
光学制造%连续位相板%化学抛光%刻蚀速率
光學製造%連續位相闆%化學拋光%刻蝕速率
광학제조%련속위상판%화학포광%각식속솔
将化学抛光工艺用于大口径连续位相板(CPP)的制造中,介绍了作为加工基础的Marangoni效应和化学抛光去除函数.在此基础上,结合CPP元件的面形特征,设计了小口径化学磨头.通过工艺实验讨论了刻蚀溶液中不同浓度NH4F添加量对刻蚀速率的影响,实验结果表明,NH4F添加量为10%～13%时可以获得最高的刻蚀速率.通过实验测算了温度波动在±1℃时,刻蚀速率的相对误差为7.8%.根据相关工艺参数设计了工艺流程,并针对不同面形特征的CPP元件进行了实际的加工,得到了与设计结果相符合的制造结果.
將化學拋光工藝用于大口徑連續位相闆(CPP)的製造中,介紹瞭作為加工基礎的Marangoni效應和化學拋光去除函數.在此基礎上,結閤CPP元件的麵形特徵,設計瞭小口徑化學磨頭.通過工藝實驗討論瞭刻蝕溶液中不同濃度NH4F添加量對刻蝕速率的影響,實驗結果錶明,NH4F添加量為10%～13%時可以穫得最高的刻蝕速率.通過實驗測算瞭溫度波動在±1℃時,刻蝕速率的相對誤差為7.8%.根據相關工藝參數設計瞭工藝流程,併針對不同麵形特徵的CPP元件進行瞭實際的加工,得到瞭與設計結果相符閤的製造結果.
장화학포광공예용우대구경련속위상판(CPP)적제조중,개소료작위가공기출적Marangoni효응화화학포광거제함수.재차기출상,결합CPP원건적면형특정,설계료소구경화학마두.통과공예실험토론료각식용액중불동농도NH4F첨가량대각식속솔적영향,실험결과표명,NH4F첨가량위10%～13%시가이획득최고적각식속솔.통과실험측산료온도파동재±1℃시,각식속솔적상대오차위7.8%.근거상관공예삼수설계료공예류정,병침대불동면형특정적CPP원건진행료실제적가공,득도료여설계결과상부합적제조결과.
