空间控制技术与应用
空間控製技術與應用
공간공제기술여응용
AEROSPACE CONTROL AND APPLICATION
2011年
3期
58-62
,共5页
VOx%非致冷红外探测器%红外地球敏感器
VOx%非緻冷紅外探測器%紅外地毬敏感器
VOx%비치랭홍외탐측기%홍외지구민감기
近年来VOx非致冷红外探测器的研制取得了较快发展,由于在波长14～16μm范围内有较高的响应率,使其应用于红外地球敏感器成为可能.介绍了基于VOx非致冷红外探测器的红外地球敏感器,对主流VOx探测器的MEMS微桥结构和产品性能参数进行比较,并分别讨论了使用面阵器件和线阵器件的红外地球敏感器应用.
近年來VOx非緻冷紅外探測器的研製取得瞭較快髮展,由于在波長14～16μm範圍內有較高的響應率,使其應用于紅外地毬敏感器成為可能.介紹瞭基于VOx非緻冷紅外探測器的紅外地毬敏感器,對主流VOx探測器的MEMS微橋結構和產品性能參數進行比較,併分彆討論瞭使用麵陣器件和線陣器件的紅外地毬敏感器應用.
근년래VOx비치랭홍외탐측기적연제취득료교쾌발전,유우재파장14～16μm범위내유교고적향응솔,사기응용우홍외지구민감기성위가능.개소료기우VOx비치랭홍외탐측기적홍외지구민감기,대주류VOx탐측기적MEMS미교결구화산품성능삼수진행비교,병분별토론료사용면진기건화선진기건적홍외지구민감기응용.
