红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
3期
559-562
,共4页
程正喜%马斌%刘强%张学敏%施永明%翟厚明
程正喜%馬斌%劉彊%張學敏%施永明%翟厚明
정정희%마빈%류강%장학민%시영명%적후명
红外景象产生器%电阻阵%薄膜转移工艺%高架桥
紅外景象產生器%電阻陣%薄膜轉移工藝%高架橋
홍외경상산생기%전조진%박막전이공예%고가교
采用新的薄膜转移工艺,成功制备了128×128规模的高架桥式电阻阵.电阻阵的单元尺寸为50μm×50 μm,占空比50％.初步测试了该高架桥电阻阵的两个基本指标,微桥的热时间常数和最高等效黑体温度,并对该电阻阵进行了成像实验.采用电学法测试单个微桥的时间常数τ约为4.5 ms,可在100 Hz下工作.将整个面阵点亮,在8～12 μm波段最高等效黑体温度达到250℃,推测在3～5 μm波段最高等效黑体温度超过300±20℃.将整个器件全部点亮并驱动到最高温度时,器件的最大功率为30W.该电阻阵可成功实现驱动显示成像.测试结果表明该高架桥式电阻阵初步满足红外景象产生器的要求.
採用新的薄膜轉移工藝,成功製備瞭128×128規模的高架橋式電阻陣.電阻陣的單元呎吋為50μm×50 μm,佔空比50％.初步測試瞭該高架橋電阻陣的兩箇基本指標,微橋的熱時間常數和最高等效黑體溫度,併對該電阻陣進行瞭成像實驗.採用電學法測試單箇微橋的時間常數τ約為4.5 ms,可在100 Hz下工作.將整箇麵陣點亮,在8～12 μm波段最高等效黑體溫度達到250℃,推測在3～5 μm波段最高等效黑體溫度超過300±20℃.將整箇器件全部點亮併驅動到最高溫度時,器件的最大功率為30W.該電阻陣可成功實現驅動顯示成像.測試結果錶明該高架橋式電阻陣初步滿足紅外景象產生器的要求.
채용신적박막전이공예,성공제비료128×128규모적고가교식전조진.전조진적단원척촌위50μm×50 μm,점공비50％.초보측시료해고가교전조진적량개기본지표,미교적열시간상수화최고등효흑체온도,병대해전조진진행료성상실험.채용전학법측시단개미교적시간상수τ약위4.5 ms,가재100 Hz하공작.장정개면진점량,재8～12 μm파단최고등효흑체온도체도250℃,추측재3～5 μm파단최고등효흑체온도초과300±20℃.장정개기건전부점량병구동도최고온도시,기건적최대공솔위30W.해전조진가성공실현구동현시성상.측시결과표명해고가교식전조진초보만족홍외경상산생기적요구.
