光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
11期
2373-2379
,共7页
邓元龙%李学金%耿优福%洪学明
鄧元龍%李學金%耿優福%洪學明
산원룡%리학금%경우복%홍학명
椭偏测量%干涉式椭偏仪%非偏振分光镜%膜厚测量%退偏效应%方位角误差
橢偏測量%榦涉式橢偏儀%非偏振分光鏡%膜厚測量%退偏效應%方位角誤差
타편측량%간섭식타편의%비편진분광경%막후측량%퇴편효응%방위각오차
提出了一种新型激光外差干涉椭偏测量术用于实现纳米级精度的薄膜厚度测量.采用偏振光p和s分量透射比、反射比、反射相移、透射相移共同表征非偏振分光镜(NPBS)的退偏效应,建立了相应的误差模型,从而研究了多层介质膜NPBS的退偏效应和方位角对椭偏参数误差的影响.研究结果表明,由环境温度、入射角和光束偏振态的变化引起的NPBS退偏参数的漂移对椭偏测量精度影响很大,且无法通过标定来降低.为实现纳米级测量精度,NPBS的对准误差需要控制在0.1°以内.相对而言,用于合光的NPBS方位角误差对测量精度影响较大,NPBS所导致的膜厚测量总误差约为1.8～2.5 nm,说明NPBS是马赫曾德尔干涉式椭偏仪的一个不可忽视的误差源.
提齣瞭一種新型激光外差榦涉橢偏測量術用于實現納米級精度的薄膜厚度測量.採用偏振光p和s分量透射比、反射比、反射相移、透射相移共同錶徵非偏振分光鏡(NPBS)的退偏效應,建立瞭相應的誤差模型,從而研究瞭多層介質膜NPBS的退偏效應和方位角對橢偏參數誤差的影響.研究結果錶明,由環境溫度、入射角和光束偏振態的變化引起的NPBS退偏參數的漂移對橢偏測量精度影響很大,且無法通過標定來降低.為實現納米級測量精度,NPBS的對準誤差需要控製在0.1°以內.相對而言,用于閤光的NPBS方位角誤差對測量精度影響較大,NPBS所導緻的膜厚測量總誤差約為1.8～2.5 nm,說明NPBS是馬赫曾德爾榦涉式橢偏儀的一箇不可忽視的誤差源.
제출료일충신형격광외차간섭타편측량술용우실현납미급정도적박막후도측량.채용편진광p화s분량투사비、반사비、반사상이、투사상이공동표정비편진분광경(NPBS)적퇴편효응,건립료상응적오차모형,종이연구료다층개질막NPBS적퇴편효응화방위각대타편삼수오차적영향.연구결과표명,유배경온도、입사각화광속편진태적변화인기적NPBS퇴편삼수적표이대타편측량정도영향흔대,차무법통과표정래강저.위실현납미급측량정도,NPBS적대준오차수요공제재0.1°이내.상대이언,용우합광적NPBS방위각오차대측량정도영향교대,NPBS소도치적막후측량총오차약위1.8～2.5 nm,설명NPBS시마혁증덕이간섭식타편의적일개불가홀시적오차원.
