硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制
규츤저류화자박막발광기건적연제
Fabrication of the ZnS Thin Film Electroluminescence Devices on Silicon Substrate
  • 万方数据
    厦门大学学报(自然科学版) 하문대학학보(자연과학판)
    JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY
    2003年 6期 723-726 ,共4页

    陈松岩%曾明刚%王水菊%陈谋智%蔡加法%林爱清%邓彩玲

    진송암%증명강%왕수국%진모지%채가법%림애청%산채령

    硅衬底%硫化锌薄膜 硅襯底%硫化鋅薄膜
    규츤저%류화자박막
    用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜,用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术,研究该薄膜的微结构与发光特性.发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异,掺入的稀土元素铒呈三价,电致发光谱为Er3+的发光谱线,硅衬底硫化锌发光薄膜器件可与硅器件工艺兼容.
    용쌍주열증발기술재규츤저상제비류화자전치발광박막,용XRD、XPS기술화전치발광보분석기술,연구해박막적미결구여발광특성.발현규츤저상류화자박막여류화자분말재정체결구상존재차이,참입적희토원소이정삼개,전치발광보위Er3+적발광보선,규츤저류화자발광박막기건가여규기건공예겸용.
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