功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
4期
275-279
,共5页
崔江涛%王林军%苏青峰%阮建锋%蒋丽雯%史伟民%夏义本
崔江濤%王林軍%囌青峰%阮建鋒%蔣麗雯%史偉民%夏義本
최강도%왕림군%소청봉%원건봉%장려문%사위민%하의본
金刚石膜%电学特性%晶粒尺寸%HFCVD
金剛石膜%電學特性%晶粒呎吋%HFCVD
금강석막%전학특성%정립척촌%HFCVD
通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器.采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金刚石膜的质量越好.I-V特性测试结果表明随着晶粒尺寸的减小,金刚石膜的电阻率从1011Ω·cm减小到106Ω·cm.在5.9 keV的55Fe X射线辐照下,随着晶粒尺寸的减小,探测器的信噪比(SNR)呈减小趋势.
通過改變生長參數,採用熱絲化學氣相沉積(HFCVD)法製備瞭從10μm到90nm四種晶粒呎吋的金剛石膜,併製作瞭三明治結構的光電導探測器.採用原子力顯微鏡和拉曼光譜儀研究瞭薄膜的結構和錶麵形貌:錶麵粗糙度從423nm變化到15nm;晶粒越大,金剛石膜的質量越好.I-V特性測試結果錶明隨著晶粒呎吋的減小,金剛石膜的電阻率從1011Ω·cm減小到106Ω·cm.在5.9 keV的55Fe X射線輻照下,隨著晶粒呎吋的減小,探測器的信譟比(SNR)呈減小趨勢.
통과개변생장삼수,채용열사화학기상침적(HFCVD)법제비료종10μm도90nm사충정립척촌적금강석막,병제작료삼명치결구적광전도탐측기.채용원자력현미경화랍만광보의연구료박막적결구화표면형모:표면조조도종423nm변화도15nm;정립월대,금강석막적질량월호.I-V특성측시결과표명수착정립척촌적감소,금강석막적전조솔종1011Ω·cm감소도106Ω·cm.재5.9 keV적55Fe X사선복조하,수착정립척촌적감소,탐측기적신조비(SNR)정감소추세.
