功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
4期
322-328
,共7页
赵新%王凯%卢桂章%谭宜勇
趙新%王凱%盧桂章%譚宜勇
조신%왕개%로계장%담의용
MEMS%微泵%动态模型%有限元计算%曲线拟合%参数辨识%虚拟运行
MEMS%微泵%動態模型%有限元計算%麯線擬閤%參數辨識%虛擬運行
MEMS%미빙%동태모형%유한원계산%곡선의합%삼수변식%허의운행
虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型.首先分析了微泵的静态模型.以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型.随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量.然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律.最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行,对照实测实验结果,它具有较高的精度.在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化,最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标.
虛擬運行是MEMS器件運行規律的圖形化展示,虛擬運行的基礎是器件動態模型.首先分析瞭微泵的靜態模型.以有限元分析數據為起點,穫得瞭膜片靜態模型.隨後給齣瞭閥片的靜態模型,得到變形解析錶達式且隻包含壓力變化量.然後以靜態模型為基礎,從分析微泵運行機製入手,從併不充分的實驗數據中得到微泵的動態運行規律.最後基于上述動態模型實現瞭微泵的虛擬運行,對照實測實驗結果,它具有較高的精度.在虛擬環境中可以在線看到虛擬運行狀態的相應變化,最終達到瞭在設計參數和器件運行之間建立直接聯繫的目標.
허의운행시MEMS기건운행규률적도형화전시,허의운행적기출시기건동태모형.수선분석료미빙적정태모형.이유한원분석수거위기점,획득료막편정태모형.수후급출료벌편적정태모형,득도변형해석표체식차지포함압력변화량.연후이정태모형위기출,종분석미빙운행궤제입수,종병불충분적실험수거중득도미빙적동태운행규률.최후기우상술동태모형실현료미빙적허의운행,대조실측실험결과,타구유교고적정도.재허의배경중가이재선간도허의운행상태적상응변화,최종체도료재설계삼수화기건운행지간건립직접련계적목표.
