13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜研究
13.9 nm마혁정덕간섭의용연X사선분속경연구
Multilayer beam splitter used in a soft X-ray Mach-Zehnder interferometer at working wavelength of 13.9 nm
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2006年 5期 773-778 ,共6页

    张众%王占山%王洪昌%王风丽%吴文娟%张树敏%秦树基%陈玲燕

    장음%왕점산%왕홍창%왕풍려%오문연%장수민%진수기%진령연

    软X射线%分束镜%马赫贞德干涉仪%Mo/Si多层膜 軟X射線%分束鏡%馬赫貞德榦涉儀%Mo/Si多層膜
    연X사선%분속경%마혁정덕간섭의%Mo/Si다층막
    介绍了13.9 nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测.基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 nm软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜.采用磁控溅射方法在有效面积为10 mm×10 mm、厚度为100 nm的Si3N4基底上镀制了Mo/Si多层膜,制成了多层膜分束镜.利用X射线掠入射衍射的方法测量了Mo/Si多层膜的周期.用扩束He-Ne激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度,利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量.利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率,在13.9 nm处,分束镜反射率和透过率乘积达4%.使用多层膜分束镜构建了软X射线马赫贞德干涉仪,并应用于13.9 nm软X射线激光干涉实验中,获得了清晰的含有C8H8等离子体电子密度信息的动态干涉条纹.
    개소료13.9 nm마혁정덕간섭의용연X사선분속경적설계、제비여성능검측.기우분속경반사솔화투과솔승적최대적평개표준,설계료13.9 nm연X사선격광간섭실험용다층막분속경.채용자공천사방법재유효면적위10 mm×10 mm、후도위100 nm적Si3N4기저상도제료Mo/Si다층막,제성료다층막분속경.이용X사선략입사연사적방법측량료Mo/Si다층막적주기.용확속He-Ne격광속진행적투영성상방법정성분석료분속경적면형정도,이용광학륜곽의완성료분속경면형정학측량.이용북경동보복사장치측량료분속경반사솔화투사솔,재13.9 nm처,분속경반사솔화투과솔승적체4%.사용다층막분속경구건료연X사선마혁정덕간섭의,병응용우13.9 nm연X사선격광간섭실험중,획득료청석적함유C8H8등리자체전자밀도신식적동태간섭조문.
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