真空
真空
진공
VACUUM
2006年
5期
1-5
,共5页
马永新%周友苏%万春萍%彭京龙
馬永新%週友囌%萬春萍%彭京龍
마영신%주우소%만춘평%팽경룡
多弧离子镀%二氧化钛%薄膜%氮掺杂%光吸收特性
多弧離子鍍%二氧化鈦%薄膜%氮摻雜%光吸收特性
다호리자도%이양화태%박막%담참잡%광흡수특성
利用多弧离子镀在玻璃衬底上制备了TiO2 薄膜和氮掺杂的TiO2薄膜样品,并对样品进行了220~500℃温度的热处理,通过X射线衍射(XRD)以及UV-Vis分光光度计等测试手段对热处理前后的样品的结构、光吸收特性进行了分析.结果表明:制备出的薄膜为非晶态结构,热处理后向锐钛矿、金红石相转变.理想工艺下镀制的掺氮TiO2薄膜经400℃加热后,TiO2薄膜的光吸收限可由385 nm红移至500 nm.
利用多弧離子鍍在玻璃襯底上製備瞭TiO2 薄膜和氮摻雜的TiO2薄膜樣品,併對樣品進行瞭220~500℃溫度的熱處理,通過X射線衍射(XRD)以及UV-Vis分光光度計等測試手段對熱處理前後的樣品的結構、光吸收特性進行瞭分析.結果錶明:製備齣的薄膜為非晶態結構,熱處理後嚮銳鈦礦、金紅石相轉變.理想工藝下鍍製的摻氮TiO2薄膜經400℃加熱後,TiO2薄膜的光吸收限可由385 nm紅移至500 nm.
이용다호리자도재파리츤저상제비료TiO2 박막화담참잡적TiO2박막양품,병대양품진행료220~500℃온도적열처리,통과X사선연사(XRD)이급UV-Vis분광광도계등측시수단대열처리전후적양품적결구、광흡수특성진행료분석.결과표명:제비출적박막위비정태결구,열처리후향예태광、금홍석상전변.이상공예하도제적참담TiO2박막경400℃가열후,TiO2박막적광흡수한가유385 nm홍이지500 nm.