机械工程师
機械工程師
궤계공정사
MECHANICAL ENGINEER
2009年
7期
25-27
,共3页
王帅强%武文斌%张峻岭%周淑娟
王帥彊%武文斌%張峻嶺%週淑娟
왕수강%무문빈%장준령%주숙연
金刚石膜%CVD%等离子体弧%抛光%石墨化
金剛石膜%CVD%等離子體弧%拋光%石墨化
금강석막%CVD%등리자체호%포광%석묵화
提出了一种利用等离子体弧抛光CVD金刚石膜的新工艺.通过试验,对其抛光机理作了初步探讨,并对试样进行了实际抛光.结果表明,用等离子体弧加工金刚石膜确实具有抛光效果.粗糙度的降低可以认为有两种机制;一种是熔点以下的氧化刻蚀、石墨化、石墨氧化和溅射,石墨化是关键的因素;另一种是熔点以上的熔化流动、爆炸抛出和弧柱的吹力作用.
提齣瞭一種利用等離子體弧拋光CVD金剛石膜的新工藝.通過試驗,對其拋光機理作瞭初步探討,併對試樣進行瞭實際拋光.結果錶明,用等離子體弧加工金剛石膜確實具有拋光效果.粗糙度的降低可以認為有兩種機製;一種是鎔點以下的氧化刻蝕、石墨化、石墨氧化和濺射,石墨化是關鍵的因素;另一種是鎔點以上的鎔化流動、爆炸拋齣和弧柱的吹力作用.
제출료일충이용등리자체호포광CVD금강석막적신공예.통과시험,대기포광궤리작료초보탐토,병대시양진행료실제포광.결과표명,용등리자체호가공금강석막학실구유포광효과.조조도적강저가이인위유량충궤제;일충시용점이하적양화각식、석묵화、석묵양화화천사,석묵화시관건적인소;령일충시용점이상적용화류동、폭작포출화호주적취력작용.
