组合机床与自动化加工技术
組閤機床與自動化加工技術
조합궤상여자동화가공기술
MODULAR MACHINE TOOL & AUTOMATIC MANUFACTURING TECHNIQUE
2011年
3期
1-3,7
,共4页
李广%张鸣%朱煜%段广洪%Masayoshi Tomizuka
李廣%張鳴%硃煜%段廣洪%Masayoshi Tomizuka
리엄%장명%주욱%단엄홍%Masayoshi Tomizuka
微动台%热分析%散热设计%光刻机
微動檯%熱分析%散熱設計%光刻機
미동태%열분석%산열설계%광각궤
温升是引起微动台精度和环境变化的重要因素,从热特性分析着手进行微动台优化设计是提高微动台性能的一条重要途径.论文提出了一种新型纳米精度六自由度微动台结构,给出了微动台的发热热源、定子线圈等效导热系数和自然对流及强制水冷条件下表面散热系数,建立了微动台三维温度场的数学模型.根据热传导理论,完成了微动台定子线圈稳态温度场的理论计算,并采用数值方法计算了微动台在自然对流和强制水冷条件下的三维温度场分布.根据计算和分析结果,完成了微动台冷却系统的设计.结果表明,采用强制水冷后,微动台动子温升不超过1℃,满足微动台工程设计要求.
溫升是引起微動檯精度和環境變化的重要因素,從熱特性分析著手進行微動檯優化設計是提高微動檯性能的一條重要途徑.論文提齣瞭一種新型納米精度六自由度微動檯結構,給齣瞭微動檯的髮熱熱源、定子線圈等效導熱繫數和自然對流及彊製水冷條件下錶麵散熱繫數,建立瞭微動檯三維溫度場的數學模型.根據熱傳導理論,完成瞭微動檯定子線圈穩態溫度場的理論計算,併採用數值方法計算瞭微動檯在自然對流和彊製水冷條件下的三維溫度場分佈.根據計算和分析結果,完成瞭微動檯冷卻繫統的設計.結果錶明,採用彊製水冷後,微動檯動子溫升不超過1℃,滿足微動檯工程設計要求.
온승시인기미동태정도화배경변화적중요인소,종열특성분석착수진행미동태우화설계시제고미동태성능적일조중요도경.논문제출료일충신형납미정도륙자유도미동태결구,급출료미동태적발열열원、정자선권등효도열계수화자연대류급강제수랭조건하표면산열계수,건립료미동태삼유온도장적수학모형.근거열전도이론,완성료미동태정자선권은태온도장적이론계산,병채용수치방법계산료미동태재자연대류화강제수랭조건하적삼유온도장분포.근거계산화분석결과,완성료미동태냉각계통적설계.결과표명,채용강제수랭후,미동태동자온승불초과1℃,만족미동태공정설계요구.
