真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
4期
386-392
,共7页
李丽丽%梁齐%史成武%孔明光%李兵
李麗麗%樑齊%史成武%孔明光%李兵
리려려%량제%사성무%공명광%리병
SnS薄膜%脉冲激光沉积%表面形貌%透过率
SnS薄膜%脈遲激光沉積%錶麵形貌%透過率
SnS박막%맥충격광침적%표면형모%투과솔
利用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上制备SnS薄膜,研究了SnS薄膜的晶体结构、表面形貌以及有关光学特性.所制备的SnS薄膜样品为斜方晶系多晶结构,在(111)晶面上有很强的择优取向性；衬底温度在100～400℃范围内,表面形貌有所区别,随着温度升高,薄膜表面分别呈现大小晶粒共存、片状颗粒、针状颗粒和锥状颗粒的形貌特征；紫外区的SnS薄膜透过率极低,可见光范围的透过率很低,近红外区的透过率较大；样品在可见区和紫外区吸收强烈,吸收系数达105cm-1量级,直接禁带宽度为1.39～1.46eV.
利用脈遲激光沉積法在玻璃襯底上製備SnS薄膜,研究瞭SnS薄膜的晶體結構、錶麵形貌以及有關光學特性.所製備的SnS薄膜樣品為斜方晶繫多晶結構,在(111)晶麵上有很彊的擇優取嚮性；襯底溫度在100～400℃範圍內,錶麵形貌有所區彆,隨著溫度升高,薄膜錶麵分彆呈現大小晶粒共存、片狀顆粒、針狀顆粒和錐狀顆粒的形貌特徵；紫外區的SnS薄膜透過率極低,可見光範圍的透過率很低,近紅外區的透過率較大；樣品在可見區和紫外區吸收彊烈,吸收繫數達105cm-1量級,直接禁帶寬度為1.39～1.46eV.
이용맥충격광침적법재파리츤저상제비SnS박막,연구료SnS박막적정체결구、표면형모이급유관광학특성.소제비적SnS박막양품위사방정계다정결구,재(111)정면상유흔강적택우취향성；츤저온도재100～400℃범위내,표면형모유소구별,수착온도승고,박막표면분별정현대소정립공존、편상과립、침상과립화추상과립적형모특정；자외구적SnS박막투과솔겁저,가견광범위적투과솔흔저,근홍외구적투과솔교대；양품재가견구화자외구흡수강렬,흡수계수체105cm-1량급,직접금대관도위1.39～1.46eV.
