微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2012年
1期
72-75
,共4页
电荷泵%时钟幅度加倍%MEMS麦克风%偏置电路
電荷泵%時鐘幅度加倍%MEMS麥剋風%偏置電路
전하빙%시종폭도가배%MEMS맥극풍%편치전로
MEMS麦克风需要一个高于10 V的偏置电压才能工作,这个高电压一般由内部电荷泵电路产生.在传统Dickson电荷泵结构的基础上,提出一种改进的电荷泵结构.它首先将非重叠时钟的幅度加倍,然后用幅度加倍的时钟作为电荷泵的驱动时钟,取得了明显的升压效果.Hspice仿真结果表明,电源电压为1.4V时,6级二极管-电容升压单元就可以实现10.7674 V的输出电压.与传统的Dickson升压电路相比,改进型电荷泵的升压单元减少了4级,且其核心部分的面积减小了21％,功耗降低了40％(参考SMIC 0.35 μm CMOS工艺).
MEMS麥剋風需要一箇高于10 V的偏置電壓纔能工作,這箇高電壓一般由內部電荷泵電路產生.在傳統Dickson電荷泵結構的基礎上,提齣一種改進的電荷泵結構.它首先將非重疊時鐘的幅度加倍,然後用幅度加倍的時鐘作為電荷泵的驅動時鐘,取得瞭明顯的升壓效果.Hspice倣真結果錶明,電源電壓為1.4V時,6級二極管-電容升壓單元就可以實現10.7674 V的輸齣電壓.與傳統的Dickson升壓電路相比,改進型電荷泵的升壓單元減少瞭4級,且其覈心部分的麵積減小瞭21％,功耗降低瞭40％(參攷SMIC 0.35 μm CMOS工藝).
MEMS맥극풍수요일개고우10 V적편치전압재능공작,저개고전압일반유내부전하빙전로산생.재전통Dickson전하빙결구적기출상,제출일충개진적전하빙결구.타수선장비중첩시종적폭도가배,연후용폭도가배적시종작위전하빙적구동시종,취득료명현적승압효과.Hspice방진결과표명,전원전압위1.4V시,6급이겁관-전용승압단원취가이실현10.7674 V적수출전압.여전통적Dickson승압전로상비,개진형전하빙적승압단원감소료4급,차기핵심부분적면적감소료21％,공모강저료40％(삼고SMIC 0.35 μm CMOS공예).
