中国测试
中國測試
중국측시
CHINA MEASUREMENT & TEST
2012年
1期
19-21
,共3页
高冬美%陆绮荣%韦艳冰%黄彬
高鼕美%陸綺榮%韋豔冰%黃彬
고동미%륙기영%위염빙%황빈
半导体技术%少子寿命%微波光电导衰减%高温退火%LabVIEW 系统
半導體技術%少子壽命%微波光電導衰減%高溫退火%LabVIEW 繫統
반도체기술%소자수명%미파광전도쇠감%고온퇴화%LabVIEW 계통
为了更好地了解P型4H-SiC的电学特性,评价其晶体质量,利用激光和微波技术作为非接触、非破坏性测量半导体特性的一种工具,详细描述了该测试方法和实验装置,讨论了高温退火前后晶片中少数载流子寿命的变化,并用LabVIEW对测试数据进行了拟合.结果表明:高温退火能提高载流子寿命,并且实验数据与拟合结果较符合.说明了微波光电导衰减法(μ-PCD)是一种测试少子寿命的快速、有效方法,对研究半导体材料性能具有重要意义；同时,研究高温退火条件下少子寿命的变化,对提高其材料的电性能也具有重要意义.
為瞭更好地瞭解P型4H-SiC的電學特性,評價其晶體質量,利用激光和微波技術作為非接觸、非破壞性測量半導體特性的一種工具,詳細描述瞭該測試方法和實驗裝置,討論瞭高溫退火前後晶片中少數載流子壽命的變化,併用LabVIEW對測試數據進行瞭擬閤.結果錶明:高溫退火能提高載流子壽命,併且實驗數據與擬閤結果較符閤.說明瞭微波光電導衰減法(μ-PCD)是一種測試少子壽命的快速、有效方法,對研究半導體材料性能具有重要意義；同時,研究高溫退火條件下少子壽命的變化,對提高其材料的電性能也具有重要意義.
위료경호지료해P형4H-SiC적전학특성,평개기정체질량,이용격광화미파기술작위비접촉、비파배성측량반도체특성적일충공구,상세묘술료해측시방법화실험장치,토론료고온퇴화전후정편중소수재류자수명적변화,병용LabVIEW대측시수거진행료의합.결과표명:고온퇴화능제고재류자수명,병차실험수거여의합결과교부합.설명료미파광전도쇠감법(μ-PCD)시일충측시소자수명적쾌속、유효방법,대연구반도체재료성능구유중요의의；동시,연구고온퇴화조건하소자수명적변화,대제고기재료적전성능야구유중요의의.
