真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
3期
240-243
,共4页
朱生发%刘天伟%吴艳萍%江帆%黄河%唐凯%魏强
硃生髮%劉天偉%吳豔萍%江帆%黃河%唐凱%魏彊
주생발%류천위%오염평%강범%황하%당개%위강
贫铀%非平衡磁控溅射%多层膜%腐蚀性能
貧鈾%非平衡磁控濺射%多層膜%腐蝕性能
빈유%비평형자공천사%다층막%부식성능
金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀.本文采用磁过滤多弧离子镀在金属铀表面制备Ti过渡层,然后采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了Ti、TiN单层膜及Ti/TN多层薄膜,以期改善基体的抗腐蚀性能.采用X射线衍射、极化曲线、盐雾腐蚀试验对镀层的结构、表面形貌、抗腐蚀性能进行了分析.结果表明,采用磁控溅射在金属铀表面制备一层Ti/TiN多层膜后,多层膜界面较清晰,大量的界面可终止柱状晶的生长,细化晶粒,提高镀层的致密性,有效地改善了基体的抗腐蚀性能.
金屬鈾的化學性質十分活潑,極易髮生氧化腐蝕.本文採用磁過濾多弧離子鍍在金屬鈾錶麵製備Ti過渡層,然後採用非平衡磁控濺射離子鍍技術製備瞭Ti、TiN單層膜及Ti/TN多層薄膜,以期改善基體的抗腐蝕性能.採用X射線衍射、極化麯線、鹽霧腐蝕試驗對鍍層的結構、錶麵形貌、抗腐蝕性能進行瞭分析.結果錶明,採用磁控濺射在金屬鈾錶麵製備一層Ti/TiN多層膜後,多層膜界麵較清晰,大量的界麵可終止柱狀晶的生長,細化晶粒,提高鍍層的緻密性,有效地改善瞭基體的抗腐蝕性能.
금속유적화학성질십분활발,겁역발생양화부식.본문채용자과려다호리자도재금속유표면제비Ti과도층,연후채용비평형자공천사리자도기술제비료Ti、TiN단층막급Ti/TN다층박막,이기개선기체적항부식성능.채용X사선연사、겁화곡선、염무부식시험대도층적결구、표면형모、항부식성능진행료분석.결과표명,채용자공천사재금속유표면제비일층Ti/TiN다층막후,다층막계면교청석,대량적계면가종지주상정적생장,세화정립,제고도층적치밀성,유효지개선료기체적항부식성능.
