力学进展
力學進展
역학진전
ADVANGCES IN MECHANICS
2002年
4期
545-562
,共18页
张泰华%杨业敏%赵亚溥%白以龙
張泰華%楊業敏%趙亞溥%白以龍
장태화%양업민%조아부%백이룡
微电子机械系统%力学性能%纳米压痕/划痕%弯曲%拉伸%扭转
微電子機械繫統%力學性能%納米壓痕/劃痕%彎麯%拉伸%扭轉
미전자궤계계통%역학성능%납미압흔/화흔%만곡%랍신%뉴전
微电子机械系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展.首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类,系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果.测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属.实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等.最后,简要分析了未来的发展需求.
微電子機械繫統(MEMS)技術的迅速崛起,推動瞭所用材料微呎度力學性能測試技術的髮展.首先按作用方式將實驗分成壓痕/劃痕、彎麯、拉伸、扭轉四大類,繫統介紹檢測MEMS材料微呎度力學性能的微型試樣、測試方法及其實驗結果.測試材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金屬.實驗結果主要包括基本的力學性能參數如彈性模量、殘餘應力、屈服彊度、斷裂彊度和疲勞彊度等.最後,簡要分析瞭未來的髮展需求.
미전자궤계계통(MEMS)기술적신속굴기,추동료소용재료미척도역학성능측시기술적발전.수선안작용방식장실험분성압흔/화흔、만곡、랍신、뉴전사대류,계통개소검측MEMS재료미척도역학성능적미형시양、측시방법급기실험결과.측시재료주요유규、양화규、담화규화일사금속.실험결과주요포괄기본적역학성능삼수여탄성모량、잔여응력、굴복강도、단렬강도화피로강도등.최후,간요분석료미래적발전수구.
