光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2006年
3期
56-60
,共5页
徐进%倪旭翔%曹向群%陆祖康
徐進%倪旭翔%曹嚮群%陸祖康
서진%예욱상%조향군%륙조강
CMOS%光栅细分%纳米技术
CMOS%光柵細分%納米技術
CMOS%광책세분%납미기술
光栅技术已在长度测量、角度测量、位置测量、自动检测、自动控制等诸多领域广泛应用.采用长光栅作为检测元件,但对光栅的细分不用常用的电子学细分,而是采用CMOS显微成像系统读取长光栅,并随之对光栅图形进行细分.系统由光源、光阑和聚光镜、标尺光栅、显微物镜及CMOS电子目镜组成,光栅图像进入PC机,采用软件进行细分.试验获得的光栅图形清晰,从而为利用数字图像处理技术进行细分提供可靠依据,实验研究的细分分辨力为80nm.
光柵技術已在長度測量、角度測量、位置測量、自動檢測、自動控製等諸多領域廣汎應用.採用長光柵作為檢測元件,但對光柵的細分不用常用的電子學細分,而是採用CMOS顯微成像繫統讀取長光柵,併隨之對光柵圖形進行細分.繫統由光源、光闌和聚光鏡、標呎光柵、顯微物鏡及CMOS電子目鏡組成,光柵圖像進入PC機,採用軟件進行細分.試驗穫得的光柵圖形清晰,從而為利用數字圖像處理技術進行細分提供可靠依據,實驗研究的細分分辨力為80nm.
광책기술이재장도측량、각도측량、위치측량、자동검측、자동공제등제다영역엄범응용.채용장광책작위검측원건,단대광책적세분불용상용적전자학세분,이시채용CMOS현미성상계통독취장광책,병수지대광책도형진행세분.계통유광원、광란화취광경、표척광책、현미물경급CMOS전자목경조성,광책도상진입PC궤,채용연건진행세분.시험획득적광책도형청석,종이위이용수자도상처리기술진행세분제공가고의거,실험연구적세분분변력위80nm.
