硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2007年
1期
16-20
,共5页
李金隆%龙兴贵%彭述明%罗顺中%傅依备%张鹰%李言荣
李金隆%龍興貴%彭述明%囉順中%傅依備%張鷹%李言榮
리금륭%룡흥귀%팽술명%라순중%부의비%장응%리언영
同质外延%钛酸锶%生长模式%晶体
同質外延%鈦痠鍶%生長模式%晶體
동질외연%태산송%생장모식%정체
利用激光分子束外延技术在SrTiO3(100)单晶基片上同质外延生长SrTiO3铁电薄膜.通过反射高能电子衍射原位实时监测薄膜生长,结合原子力显微镜等表征手段,分析了薄膜的表面微观结构,确定了薄膜的生长模式.根据反射高能电子衍射强度振荡曲线及衍射图样,通过改变薄膜的生长条件,实现了对薄膜生长模式的控制,绘制了SrTiO3薄膜的生长模式图谱:在高温、低沉积速率时,薄膜以二维层状模式生长为主;而在低温、高沉积速率下,薄膜则以三维岛状生长模式为主.从二维模式生长向三维模式生长的过渡区则表现为层状和岛状混合的Stranski-Krastanov生长模式.系统研究了生长条件对生长模式的影响,发现生长温度是影响薄膜生长过程中Ehrilich-Schwoebel扩散势垒的主要因素,而扩散势垒和沉积速率的变化决定了生长模式的改变.
利用激光分子束外延技術在SrTiO3(100)單晶基片上同質外延生長SrTiO3鐵電薄膜.通過反射高能電子衍射原位實時鑑測薄膜生長,結閤原子力顯微鏡等錶徵手段,分析瞭薄膜的錶麵微觀結構,確定瞭薄膜的生長模式.根據反射高能電子衍射彊度振盪麯線及衍射圖樣,通過改變薄膜的生長條件,實現瞭對薄膜生長模式的控製,繪製瞭SrTiO3薄膜的生長模式圖譜:在高溫、低沉積速率時,薄膜以二維層狀模式生長為主;而在低溫、高沉積速率下,薄膜則以三維島狀生長模式為主.從二維模式生長嚮三維模式生長的過渡區則錶現為層狀和島狀混閤的Stranski-Krastanov生長模式.繫統研究瞭生長條件對生長模式的影響,髮現生長溫度是影響薄膜生長過程中Ehrilich-Schwoebel擴散勢壘的主要因素,而擴散勢壘和沉積速率的變化決定瞭生長模式的改變.
이용격광분자속외연기술재SrTiO3(100)단정기편상동질외연생장SrTiO3철전박막.통과반사고능전자연사원위실시감측박막생장,결합원자력현미경등표정수단,분석료박막적표면미관결구,학정료박막적생장모식.근거반사고능전자연사강도진탕곡선급연사도양,통과개변박막적생장조건,실현료대박막생장모식적공제,회제료SrTiO3박막적생장모식도보:재고온、저침적속솔시,박막이이유층상모식생장위주;이재저온、고침적속솔하,박막칙이삼유도상생장모식위주.종이유모식생장향삼유모식생장적과도구칙표현위층상화도상혼합적Stranski-Krastanov생장모식.계통연구료생장조건대생장모식적영향,발현생장온도시영향박막생장과정중Ehrilich-Schwoebel확산세루적주요인소,이확산세루화침적속솔적변화결정료생장모식적개변.
