渤海大学学报（自然科学版）
渤海大學學報（自然科學版）
발해대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BOHAI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
1期
75-76
,共2页
微波等离子体%金刚石膜%金相显微镜%X射线衍射
微波等離子體%金剛石膜%金相顯微鏡%X射線衍射
미파등리자체%금강석막%금상현미경%X사선연사
实验以CH3CH2OH和H2 为气源,用微波等离子体CVD法沉积金刚石膜,并用金相显微镜(×400)观察其沉积效果,X射线衍射仪表征其成膜质量,最后分析反应气压对金刚石膜的影响.
實驗以CH3CH2OH和H2 為氣源,用微波等離子體CVD法沉積金剛石膜,併用金相顯微鏡(×400)觀察其沉積效果,X射線衍射儀錶徵其成膜質量,最後分析反應氣壓對金剛石膜的影響.
실험이CH3CH2OH화H2 위기원,용미파등리자체CVD법침적금강석막,병용금상현미경(×400)관찰기침적효과,X사선연사의표정기성막질량,최후분석반응기압대금강석막적영향.
