电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2010年
3期
289-293
,共5页
余晓芬%程伶俐%胡佳文%余卿
餘曉芬%程伶俐%鬍佳文%餘卿
여효분%정령리%호가문%여경
动态优化设计%圆筒型永磁直线同步电机%纳米工作台
動態優化設計%圓筒型永磁直線同步電機%納米工作檯
동태우화설계%원통형영자직선동보전궤%납미공작태
为了减小直线电机的电磁推力波动, 保证绕线动子与永磁定子有足够的偏心量, 对大行程纳米二维位移工作台进行了动态优化设计研究.基于振动理论建立了工作台与上层板系统的动力学模型, 并以此模型分析了工作台动力响应与上层板厚的关系, 给出了优化设计结果.对工作台进行了全行程定位实验, 实验结果表明, 工作台可以在0~100mm范围内,实现10nm定位分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求.
為瞭減小直線電機的電磁推力波動, 保證繞線動子與永磁定子有足夠的偏心量, 對大行程納米二維位移工作檯進行瞭動態優化設計研究.基于振動理論建立瞭工作檯與上層闆繫統的動力學模型, 併以此模型分析瞭工作檯動力響應與上層闆厚的關繫, 給齣瞭優化設計結果.對工作檯進行瞭全行程定位實驗, 實驗結果錶明, 工作檯可以在0~100mm範圍內,實現10nm定位分辨率的快速、高精度定位,滿足納米測量的要求.
위료감소직선전궤적전자추력파동, 보증요선동자여영자정자유족구적편심량, 대대행정납미이유위이공작태진행료동태우화설계연구.기우진동이론건립료공작태여상층판계통적동역학모형, 병이차모형분석료공작태동력향응여상층판후적관계, 급출료우화설계결과.대공작태진행료전행정정위실험, 실험결과표명, 공작태가이재0~100mm범위내,실현10nm정위분변솔적쾌속、고정도정위,만족납미측량적요구.
