光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
1期
103-106
,共4页
林大伟%黄伟%熊胜明%孔明东
林大偉%黃偉%熊勝明%孔明東
림대위%황위%웅성명%공명동
蒸汽入射角度%粗糙度%折射率%聚集密度
蒸汽入射角度%粗糙度%摺射率%聚集密度
증기입사각도%조조도%절사솔%취집밀도
采用特定的工艺同一罩镀制三种不同基片倾斜角度下的氟化镱(YbF3)薄膜样品,分别采用原子力显微镜,红外分光光度计测量了单层膜的粗糙度,透射率,根据透射率值采用包络法计算了薄膜的折射率,并由堆积密度的计算公式计算了薄膜的堆积密度.测量及计算结果表明:随着基片倾斜角度即相应薄膜沉积角度的增加,薄膜的粗糙度变差,折射率及堆积密度变小.
採用特定的工藝同一罩鍍製三種不同基片傾斜角度下的氟化鐿(YbF3)薄膜樣品,分彆採用原子力顯微鏡,紅外分光光度計測量瞭單層膜的粗糙度,透射率,根據透射率值採用包絡法計算瞭薄膜的摺射率,併由堆積密度的計算公式計算瞭薄膜的堆積密度.測量及計算結果錶明:隨著基片傾斜角度即相應薄膜沉積角度的增加,薄膜的粗糙度變差,摺射率及堆積密度變小.
채용특정적공예동일조도제삼충불동기편경사각도하적불화의(YbF3)박막양품,분별채용원자력현미경,홍외분광광도계측량료단층막적조조도,투사솔,근거투사솔치채용포락법계산료박막적절사솔,병유퇴적밀도적계산공식계산료박막적퇴적밀도.측량급계산결과표명:수착기편경사각도즉상응박막침적각도적증가,박막적조조도변차,절사솔급퇴적밀도변소.
