真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
5期
328-330,354
,共4页
曹培江%朱德亮%马晓翠%潘跃武
曹培江%硃德亮%馬曉翠%潘躍武
조배강%주덕량%마효취%반약무
N离子注入%金刚石%化学键
N離子註入%金剛石%化學鍵
N리자주입%금강석%화학건
采用N离子注入金刚石膜和热解石墨方法合成了CNx膜,用Raman光谱和XPS谱对合成薄膜中C、N的化学键合状态进行了研究.通过与Raman光谱的比较,我们对合成样品XPS谱中N1s的化学键合状态作出如下归属:≈400.0 eV属于sp2 C-N键;≈398.5 eV则属于sp3 C-N键.结果显示:碳原子、氮原子间的化学键合状态,明显地依赖于衬底材料及注入N离子的能量.
採用N離子註入金剛石膜和熱解石墨方法閤成瞭CNx膜,用Raman光譜和XPS譜對閤成薄膜中C、N的化學鍵閤狀態進行瞭研究.通過與Raman光譜的比較,我們對閤成樣品XPS譜中N1s的化學鍵閤狀態作齣如下歸屬:≈400.0 eV屬于sp2 C-N鍵;≈398.5 eV則屬于sp3 C-N鍵.結果顯示:碳原子、氮原子間的化學鍵閤狀態,明顯地依賴于襯底材料及註入N離子的能量.
채용N리자주입금강석막화열해석묵방법합성료CNx막,용Raman광보화XPS보대합성박막중C、N적화학건합상태진행료연구.통과여Raman광보적비교,아문대합성양품XPS보중N1s적화학건합상태작출여하귀속:≈400.0 eV속우sp2 C-N건;≈398.5 eV칙속우sp3 C-N건.결과현시:탄원자、담원자간적화학건합상태,명현지의뢰우츤저재료급주입N리자적능량.
