CAJ | 학술논문

利用直流磁控溅射法,在铝基片、玻璃基片上制备了钽膜.研究了氩气压力、阴极电流、系统本底真空度、溅射时间等工艺条件对钽膜性能及厚度的影响,并对钽膜的物理性能及电学性能进行了研究.结果表明,钽镀层的厚度主要与钽靶功率、氩气分压及溅射时间有关;当氩气压力、电流一定时,钽镀层的厚度与溅射时间近似地成正比关系.利用3 A/(8 min)、4 A/(6 min)、5 A/(3 min)各5片铝基片镀钽的样品制成了医用CT检测器信号接受盒,获得的X-ray电信号分别为30万、32万、34万单位,达到并超过了国际同类产品的技术指标.
이용직류자공천사법,재려기편、파리기편상제비료단막.연구료아기압력、음겁전류、계통본저진공도、천사시간등공예조건대단막성능급후도적영향,병대단막적물이성능급전학성능진행료연구.결과표명,단도층적후도주요여단파공솔、아기분압급천사시간유관;당아기압력、전류일정시,단도층적후도여천사시간근사지성정비관계.이용3 A/(8 min)、4 A/(6 min)、5 A/(3 min)각5편려기편도단적양품제성료의용CT검측기신호접수합,획득적X-ray전신호분별위30만、32만、34만단위,체도병초과료국제동류산품적기술지표.