功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
4期
255-258
,共4页
王笑龙%于广辉%雷本亮%隋妍萍%孟胜%齐鸣%李爱珍
王笑龍%于廣輝%雷本亮%隋妍萍%孟勝%齊鳴%李愛珍
왕소룡%우엄휘%뢰본량%수연평%맹성%제명%리애진
氮化镓%纳米孔%阳极氧化铝%ICP刻蚀%Raman
氮化鎵%納米孔%暘極氧化鋁%ICP刻蝕%Raman
담화가%납미공%양겁양화려%ICP각식%Raman
介绍了一种在氮化镓外延片表面制备得到孔径为纳米量级的多孔结构的工艺.用电化学方法制备出孔径为纳米量级的多孔阳极氧化铝模板作为掩模,经过电感耦合等离子体(ICP)刻蚀制备得到纳米孔氮化镓材料.孔的大小和孔间距可以通过改变阳极氧化条件来控制,改变刻蚀时间可以控制孔深.刻蚀所用气体为氯气和惰性气体的混合物.扫描电镜照片显示,掩模图形能够很好地转移到GaN材料上.刻蚀后的材料经光荧光谱(PL Spectra)谱和Raman散射谱测试,显示出良好的光学特性,并在一定程度上释放了应力.
介紹瞭一種在氮化鎵外延片錶麵製備得到孔徑為納米量級的多孔結構的工藝.用電化學方法製備齣孔徑為納米量級的多孔暘極氧化鋁模闆作為掩模,經過電感耦閤等離子體(ICP)刻蝕製備得到納米孔氮化鎵材料.孔的大小和孔間距可以通過改變暘極氧化條件來控製,改變刻蝕時間可以控製孔深.刻蝕所用氣體為氯氣和惰性氣體的混閤物.掃描電鏡照片顯示,掩模圖形能夠很好地轉移到GaN材料上.刻蝕後的材料經光熒光譜(PL Spectra)譜和Raman散射譜測試,顯示齣良好的光學特性,併在一定程度上釋放瞭應力.
개소료일충재담화가외연편표면제비득도공경위납미량급적다공결구적공예.용전화학방법제비출공경위납미량급적다공양겁양화려모판작위엄모,경과전감우합등리자체(ICP)각식제비득도납미공담화가재료.공적대소화공간거가이통과개변양겁양화조건래공제,개변각식시간가이공제공심.각식소용기체위록기화타성기체적혼합물.소묘전경조편현시,엄모도형능구흔호지전이도GaN재료상.각식후적재료경광형광보(PL Spectra)보화Raman산사보측시,현시출량호적광학특성,병재일정정도상석방료응력.
