微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2007年
12期
273-275
,共3页
刘欢%魏立峰%王健%边福强
劉歡%魏立峰%王健%邊福彊
류환%위립봉%왕건%변복강
SUPREM-Ⅲ%氧化扩散%工艺模拟
SUPREM-Ⅲ%氧化擴散%工藝模擬
SUPREM-Ⅲ%양화확산%공예모의
随着集成电路工艺的不断发展,工艺模拟软件功能也在不断的改善,本文以氧化扩散工艺为例,并在计算机上采用SUPREM-Ⅲ完成氧化扩散初始条件的编辑以及工艺模拟.并对模拟结果进行分析比较.从而对氧化、扩散工艺操作过程有直观的了解,避免了复杂的工程计算.
隨著集成電路工藝的不斷髮展,工藝模擬軟件功能也在不斷的改善,本文以氧化擴散工藝為例,併在計算機上採用SUPREM-Ⅲ完成氧化擴散初始條件的編輯以及工藝模擬.併對模擬結果進行分析比較.從而對氧化、擴散工藝操作過程有直觀的瞭解,避免瞭複雜的工程計算.
수착집성전로공예적불단발전,공예모의연건공능야재불단적개선,본문이양화확산공예위례,병재계산궤상채용SUPREM-Ⅲ완성양화확산초시조건적편집이급공예모의.병대모의결과진행분석비교.종이대양화、확산공예조작과정유직관적료해,피면료복잡적공정계산.
