北京大学学报（自然科学版）
北京大學學報（自然科學版）
북경대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS PEKINENSIS
2007年
5期
614-619
,共6页
吴克%余增强%张解东%聂瑞娟%王福仁
吳剋%餘增彊%張解東%聶瑞娟%王福仁
오극%여증강%장해동%섭서연%왕복인
MgB2%超导薄膜%电子束蒸发%退火处理%微波谐振器
MgB2%超導薄膜%電子束蒸髮%退火處理%微波諧振器
MgB2%초도박막%전자속증발%퇴화처리%미파해진기
报道了采用电子束蒸发技术实现MgB2薄膜制备的实验工作.通过蒸镀B膜和Mg/B多层膜两种前驱体,分别经高温区(～900℃)和中温区(～700℃)退火处理后成功获得了高质量的MgB2薄膜样品.对样品的超导性能、晶体结构和表面形貌进行了详细的测量和表征,并对两类样品性质上所表现出的差异进行了分析.此外,还报道了在薄膜制备基础上利用微加工技术实现的超导微波谐振器的结果.
報道瞭採用電子束蒸髮技術實現MgB2薄膜製備的實驗工作.通過蒸鍍B膜和Mg/B多層膜兩種前驅體,分彆經高溫區(～900℃)和中溫區(～700℃)退火處理後成功穫得瞭高質量的MgB2薄膜樣品.對樣品的超導性能、晶體結構和錶麵形貌進行瞭詳細的測量和錶徵,併對兩類樣品性質上所錶現齣的差異進行瞭分析.此外,還報道瞭在薄膜製備基礎上利用微加工技術實現的超導微波諧振器的結果.
보도료채용전자속증발기술실현MgB2박막제비적실험공작.통과증도B막화Mg/B다층막량충전구체,분별경고온구(～900℃)화중온구(～700℃)퇴화처리후성공획득료고질량적MgB2박막양품.대양품적초도성능、정체결구화표면형모진행료상세적측량화표정,병대량류양품성질상소표현출적차이진행료분석.차외,환보도료재박막제비기출상이용미가공기술실현적초도미파해진기적결과.
