光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
6期
1179-1184
,共6页
林巧%陈柳华%李书%吴兴坤
林巧%陳柳華%李書%吳興坤
림교%진류화%리서%오흥곤
光纤加速度计%相位生成载波技术%灵敏度%分辨率
光纖加速度計%相位生成載波技術%靈敏度%分辨率
광섬가속도계%상위생성재파기술%령민도%분변솔
设计、研制了一种基于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计.介绍了该加速度计的传感原理及弹性结构设计,并对其性能进行了实验测试.该加速度计用固定于圆网状弹性结构上的硅微反射镜与处理过的光纤端面构成光纤-镜面干涉腔来产生相位差随外界加速度改变的光干涉信号；采用相位生成载波技术通过对干涉信号的调制和解调实现对相位差的精确测定.应用工程软件Cosmosworks(Solidworks)对该加速度计弹性结构的灵敏度进行了理论分析,并与样机测试比较.结果表明,该光纤加速度计的灵敏度为63.2 rad/g,共振频率为160 Hz,分辨率为4μg而动态范围接近108,结果与理论分析符合得较好.该加速度计不仅结构简单,还集成了多维加速度计的优势.
設計、研製瞭一種基于光纖-鏡麵榦涉腔的光纖加速度計.介紹瞭該加速度計的傳感原理及彈性結構設計,併對其性能進行瞭實驗測試.該加速度計用固定于圓網狀彈性結構上的硅微反射鏡與處理過的光纖耑麵構成光纖-鏡麵榦涉腔來產生相位差隨外界加速度改變的光榦涉信號；採用相位生成載波技術通過對榦涉信號的調製和解調實現對相位差的精確測定.應用工程軟件Cosmosworks(Solidworks)對該加速度計彈性結構的靈敏度進行瞭理論分析,併與樣機測試比較.結果錶明,該光纖加速度計的靈敏度為63.2 rad/g,共振頻率為160 Hz,分辨率為4μg而動態範圍接近108,結果與理論分析符閤得較好.該加速度計不僅結構簡單,還集成瞭多維加速度計的優勢.
설계、연제료일충기우광섬-경면간섭강적광섬가속도계.개소료해가속도계적전감원리급탄성결구설계,병대기성능진행료실험측시.해가속도계용고정우원망상탄성결구상적규미반사경여처리과적광섬단면구성광섬-경면간섭강래산생상위차수외계가속도개변적광간섭신호；채용상위생성재파기술통과대간섭신호적조제화해조실현대상위차적정학측정.응용공정연건Cosmosworks(Solidworks)대해가속도계탄성결구적령민도진행료이론분석,병여양궤측시비교.결과표명,해광섬가속도계적령민도위63.2 rad/g,공진빈솔위160 Hz,분변솔위4μg이동태범위접근108,결과여이론분석부합득교호.해가속도계불부결구간단,환집성료다유가속도계적우세.
