自绝缘氧化限制型850nm垂直腔面发射激光器
자절연양화한제형850nm수직강면발사격광기
Self-insulated Oxide-confined 850 nm VCSELs
  • 万方数据
    固体电子学研究与进展 고체전자학연구여진전
    RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
    2011年 6期 586-589 ,共4页

    李特%郝二娟%王勇%芦鹏%李再金%李林%曲轶%刘国军

    리특%학이연%왕용%호붕%리재금%리림%곡질%류국군

    自绝缘%氧化限制垂直腔面发射激光器%850 nm%功率 自絕緣%氧化限製垂直腔麵髮射激光器%850 nm%功率
    자절연%양화한제수직강면발사격광기%850 nm%공솔
    介绍了一种制作氧化限制型垂直腔面发射激光器的新途径,自绝缘工艺.采用该工艺制作了氧化限制型850 nm VCSELs.详细地介绍了自绝缘器件的工作原理和制作流程,并对侧氧化相关参数进行了实验研究.在此基础上,制备了不同出光孔径的850 nm VCSELs器件,测得出光孔径12μm的器件最大输出功率达到10 mW,微分量子效率达到43％.对不同出光孔径的器件输出特性进行了对比,并分析了产生输出特性差异的原因.
    개소료일충제작양화한제형수직강면발사격광기적신도경,자절연공예.채용해공예제작료양화한제형850 nm VCSELs.상세지개소료자절연기건적공작원리화제작류정,병대측양화상관삼수진행료실험연구.재차기출상,제비료불동출광공경적850 nm VCSELs기건,측득출광공경12μm적기건최대수출공솔체도10 mW,미분양자효솔체도43％.대불동출광공경적기건수출특성진행료대비,병분석료산생수출특성차이적원인.
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