计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2004年
4期
310-313
,共4页
计量学%移相算法%波长移相干涉技术%离散傅里叶变换
計量學%移相算法%波長移相榦涉技術%離散傅裏葉變換
계량학%이상산법%파장이상간섭기술%리산부리협변환
基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理.这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测.介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法.叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果.
基于傅裏葉變換的波長移相算法,是基于時域傅裏葉變換和差分技術來實現榦涉圖處理.這種算法主要用于實現較粗糙輪廓或檯階件的光學檢測.介紹瞭該算法的中心思想,指齣瞭已有的Takeda算法的缺點,提齣瞭改進算法.敘述瞭新算法的實現過程併進行瞭誤差分析,最後給齣瞭實驗結果.
기우부리협변환적파장이상산법,시기우시역부리협변환화차분기술래실현간섭도처리.저충산법주요용우실현교조조륜곽혹태계건적광학검측.개소료해산법적중심사상,지출료이유적Takeda산법적결점,제출료개진산법.서술료신산법적실현과정병진행료오차분석,최후급출료실험결과.
