表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
표면미가공현비량단렬실효가고도예측
Fracture Reliability Prediction for Surface-micromachined Polysilicon Micro-Cantilevers
  • 万方数据
    中国机械工程 중국궤계공정
    CHINA MECHANICAl ENGINEERING
    2005年 z1期 212-214 ,共3页

    姜理利%唐洁影

    강리리%당길영

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    MEMS%미현비량%실효%가고도
    MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型.
    MEMS적가고성이경성위타능부성공지실현상품화적을적일개기본결구,천술료다정규미현비량적단렬실효궤리.이용굉관궤계이론중적응력-강도간섭이론대표면미가공적다정규미현비량적단렬가고성진행예측,건립료재균균적표면재하하적단렬가고도예측모형.
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