清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2006年
11期
1876-1879
,共4页
郭琳瑞%叶雄英%周兆英%梁吉
郭琳瑞%葉雄英%週兆英%樑吉
곽림서%협웅영%주조영%량길
微机电系统%传感器%场致发射%碳纳米管
微機電繫統%傳感器%場緻髮射%碳納米管
미궤전계통%전감기%장치발사%탄납미관
研究了定向生长的多壁碳纳米管薄膜场致发射的距离敏感特性,以改进现有场发射传感器中硅及金属针尖的性能.化学气相沉积方法制备的多壁碳纳米管薄膜表现出良好的尖端放电特性,其开启电场可至1.42V/μm,阈值电场可至2.22V/μm,通过计算得到的尖端电场增强因子可至 4034 以上.随着发射间距的增加,场致发射电流非线性地降低,发射电流对发射间距的最大变化率为 0.0188μA/μm.通过拟合分析发现,场致发射电流随发射间距的变化基本符合Fowler-Nordheim关系,该特性可作为碳纳米管场致发射传感器的基本原理用于位移的检测.
研究瞭定嚮生長的多壁碳納米管薄膜場緻髮射的距離敏感特性,以改進現有場髮射傳感器中硅及金屬針尖的性能.化學氣相沉積方法製備的多壁碳納米管薄膜錶現齣良好的尖耑放電特性,其開啟電場可至1.42V/μm,閾值電場可至2.22V/μm,通過計算得到的尖耑電場增彊因子可至 4034 以上.隨著髮射間距的增加,場緻髮射電流非線性地降低,髮射電流對髮射間距的最大變化率為 0.0188μA/μm.通過擬閤分析髮現,場緻髮射電流隨髮射間距的變化基本符閤Fowler-Nordheim關繫,該特性可作為碳納米管場緻髮射傳感器的基本原理用于位移的檢測.
연구료정향생장적다벽탄납미관박막장치발사적거리민감특성,이개진현유장발사전감기중규급금속침첨적성능.화학기상침적방법제비적다벽탄납미관박막표현출량호적첨단방전특성,기개계전장가지1.42V/μm,역치전장가지2.22V/μm,통과계산득도적첨단전장증강인자가지 4034 이상.수착발사간거적증가,장치발사전류비선성지강저,발사전류대발사간거적최대변화솔위 0.0188μA/μm.통과의합분석발현,장치발사전류수발사간거적변화기본부합Fowler-Nordheim관계,해특성가작위탄납미관장치발사전감기적기본원리용우위이적검측.
