真空
真空
진공
VACUUM
2007年
3期
72-74
,共3页
磁性陶瓷靶材%冷等静压%收缩率%软磁性能
磁性陶瓷靶材%冷等靜壓%收縮率%軟磁性能
자성도자파재%랭등정압%수축솔%연자성능
薄膜制备过程中溅射靶材的利用率很低,导致薄膜材料制备成本很高.以自制的高纯度纳米晶镍钴锌/二氧化硅复合铁氧体粉体为原料,冷等静压后高温烧结制备得到铁氧体复合靶材.用XRD、EPMA和SEM分析靶材的化学成分和微观形貌.结果表明:靶材为尖晶石型铁氧体和二氧化硅的复合材料,收缩率达14.37%,能在高真空多功能磁控溅射仪正常工作,并成功制备得到性能良好的软磁薄膜.整个制备过程工艺简单,操作方便可行,大大降低了靶材的制备成本.
薄膜製備過程中濺射靶材的利用率很低,導緻薄膜材料製備成本很高.以自製的高純度納米晶鎳鈷鋅/二氧化硅複閤鐵氧體粉體為原料,冷等靜壓後高溫燒結製備得到鐵氧體複閤靶材.用XRD、EPMA和SEM分析靶材的化學成分和微觀形貌.結果錶明:靶材為尖晶石型鐵氧體和二氧化硅的複閤材料,收縮率達14.37%,能在高真空多功能磁控濺射儀正常工作,併成功製備得到性能良好的軟磁薄膜.整箇製備過程工藝簡單,操作方便可行,大大降低瞭靶材的製備成本.
박막제비과정중천사파재적이용솔흔저,도치박막재료제비성본흔고.이자제적고순도납미정얼고자/이양화규복합철양체분체위원료,랭등정압후고온소결제비득도철양체복합파재.용XRD、EPMA화SEM분석파재적화학성분화미관형모.결과표명:파재위첨정석형철양체화이양화규적복합재료,수축솔체14.37%,능재고진공다공능자공천사의정상공작,병성공제비득도성능량호적연자박막.정개제비과정공예간단,조작방편가행,대대강저료파재적제비성본.
