化工装备技术
化工裝備技術
화공장비기술
CHEMICAL EQUIPMENT TECHNOLOGY
2012年
3期
48-49
,共2页
冷却装置%还原炉%电极外套%强制冷却%多晶硅
冷卻裝置%還原爐%電極外套%彊製冷卻%多晶硅
냉각장치%환원로%전겁외투%강제냉각%다정규
分析了常用的还原炉电极外套强制冷却装置在技术上的不足,提出了新的强制冷却装置的设计方案.新的冷却装置在实际应用中取得了很好的效果,从而保证了多晶硅的产量和质量.
分析瞭常用的還原爐電極外套彊製冷卻裝置在技術上的不足,提齣瞭新的彊製冷卻裝置的設計方案.新的冷卻裝置在實際應用中取得瞭很好的效果,從而保證瞭多晶硅的產量和質量.
분석료상용적환원로전겁외투강제냉각장치재기술상적불족,제출료신적강제냉각장치적설계방안.신적냉각장치재실제응용중취득료흔호적효과,종이보증료다정규적산량화질량.
