磁控溅射非晶CNx薄膜的热稳定性研究
자공천사비정CNx박막적열은정성연구
Thermal stability of magnetron sputtering amorphous carbon nitride films
  • 万方数据
    材料科学与工艺 재료과학여공예
    MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2004年 1期 71-74 ,共4页

    李俊杰%金曾孙%吴汉华%林景波%金哲%李哲奎%顾广瑞%盖同祥

    리준걸%금증손%오한화%림경파%금철%리철규%고엄서%개동상

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    为了研究非晶CNx薄膜的热稳定性,采用射频磁控溅射方法沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900℃,利用FTIR,Raman和XPS谱探讨了高温退火对CNx薄膜化学成分及键合结构的影响.研究表明:CNx薄膜样品中N原子分别与sp、sp2和sp3杂化状态的C原子相结合,退火处理极大地影响了CN键合结构的稳定性;当退火温度低于600℃时,膜内N含量的损失较少,CNx薄膜的热稳定性较好,退火温度超过600℃时,将导致CNx膜中大多数C、N间的键合分离,造成N大量损失,膜的热稳定性下降;退火可促使膜内sp3型键向sp2型键转变,在膜中形成大量的sp2型C键,导致CNx膜的石墨化.
    위료연구비정CNx박막적열은정성,채용사빈자공천사방법침적료비정CNx박막양품,병재진공중퇴화지900℃,이용FTIR,Raman화XPS보탐토료고온퇴화대CNx박막화학성분급건합결구적영향.연구표명:CNx박막양품중N원자분별여sp、sp2화sp3잡화상태적C원자상결합,퇴화처리겁대지영향료CN건합결구적은정성;당퇴화온도저우600℃시,막내N함량적손실교소,CNx박막적열은정성교호,퇴화온도초과600℃시,장도치CNx막중대다수C、N간적건합분리,조성N대량손실,막적열은정성하강;퇴화가촉사막내sp3형건향sp2형건전변,재막중형성대량적sp2형C건,도치CNx막적석묵화.
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