实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2004年
4期
19-20,30
,共3页
锂铁氧体%Cu-Ti复合金属波导膜系%工艺
鋰鐵氧體%Cu-Ti複閤金屬波導膜繫%工藝
리철양체%Cu-Ti복합금속파도막계%공예
采用磁控溅射镀膜方法,在锂铁氧体材料表面,制备了Cu-Ti复合金属波导膜系.本文简单介绍了设备的改造特点,对整个工艺过程进行了分析研究,对制备的Cu-Ti复合金属波导膜系进行了性能测试,结果表明,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求.
採用磁控濺射鍍膜方法,在鋰鐵氧體材料錶麵,製備瞭Cu-Ti複閤金屬波導膜繫.本文簡單介紹瞭設備的改造特點,對整箇工藝過程進行瞭分析研究,對製備的Cu-Ti複閤金屬波導膜繫進行瞭性能測試,結果錶明,用該工藝所製備的波導膜繫性能指標達到微波器件的要求.
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