仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2004年
7期
6-7
,共2页
唐慧%孙海玮%刘宏伟%郑东明%张治国%陈信琦%郑永辉
唐慧%孫海瑋%劉宏偉%鄭東明%張治國%陳信琦%鄭永輝
당혜%손해위%류굉위%정동명%장치국%진신기%정영휘
扩散硅%多功能%集成差压传感器%差压敏感元件%静压敏感元件%温度敏感元件
擴散硅%多功能%集成差壓傳感器%差壓敏感元件%靜壓敏感元件%溫度敏感元件
확산규%다공능%집성차압전감기%차압민감원건%정압민감원건%온도민감원건
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式.大大提高了仪表的测量精度,达到0.1%和0.075%.增加了传感器输出的信息量,实现了传感器的智能化,这也是国际传感技术发展的方向.所研制的小型多功能压力传感器是利用微电子和微机械加工融合技术在尺寸仅为3.5mm×4.0mm的硅片上集差压敏感元件、静压敏感元件、温度敏感元件为一体、并将其封装在由金属膜片隔离密封的保护液中,具有可靠的密封性.利用数字补偿技术进行处理,可使其在-30～80℃的温度范围内,变送器精度达到0.1级.该传感器能够同时实现对现场中的差压、静压、温度变化的测量，静压和温度的测量数据可修正被测环境的差压输出信号,从而可提高差压传感器的精度,它是工业智能差压变送器的核心部件.
傳感器的智能化從數字運算上解決傳感器的溫度補償、靜壓補償問題,解決瞭以前靜壓無法補償,僅靠工藝解決的難題;改變瞭溫度補償僅靠硬件電路的方式.大大提高瞭儀錶的測量精度,達到0.1%和0.075%.增加瞭傳感器輸齣的信息量,實現瞭傳感器的智能化,這也是國際傳感技術髮展的方嚮.所研製的小型多功能壓力傳感器是利用微電子和微機械加工融閤技術在呎吋僅為3.5mm×4.0mm的硅片上集差壓敏感元件、靜壓敏感元件、溫度敏感元件為一體、併將其封裝在由金屬膜片隔離密封的保護液中,具有可靠的密封性.利用數字補償技術進行處理,可使其在-30～80℃的溫度範圍內,變送器精度達到0.1級.該傳感器能夠同時實現對現場中的差壓、靜壓、溫度變化的測量，靜壓和溫度的測量數據可脩正被測環境的差壓輸齣信號,從而可提高差壓傳感器的精度,它是工業智能差壓變送器的覈心部件.
전감기적지능화종수자운산상해결전감기적온도보상、정압보상문제,해결료이전정압무법보상,부고공예해결적난제;개변료온도보상부고경건전로적방식.대대제고료의표적측량정도,체도0.1%화0.075%.증가료전감기수출적신식량,실현료전감기적지능화,저야시국제전감기술발전적방향.소연제적소형다공능압력전감기시이용미전자화미궤계가공융합기술재척촌부위3.5mm×4.0mm적규편상집차압민감원건、정압민감원건、온도민감원건위일체、병장기봉장재유금속막편격리밀봉적보호액중,구유가고적밀봉성.이용수자보상기술진행처리,가사기재-30～80℃적온도범위내,변송기정도체도0.1급.해전감기능구동시실현대현장중적차압、정압、온도변화적측량，정압화온도적측량수거가수정피측배경적차압수출신호,종이가제고차압전감기적정도,타시공업지능차압변송기적핵심부건.
