压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
1期
118-121
,共4页
张晔%陈迪%李建华%靖向萌%倪智萍%朱军
張曄%陳迪%李建華%靖嚮萌%倪智萍%硃軍
장엽%진적%리건화%정향맹%예지평%주군
UV-LIGA%SU-8%侧壁粗糙度
UV-LIGA%SU-8%側壁粗糙度
UV-LIGA%SU-8%측벽조조도
SU-8负性光刻胶可通过UV-LIGA技术得到高深宽比微结构,是微机械系统(MEMS)制造中极具前景的一种技术.目前已有对于SU-8微结构的线宽变化,侧壁倾角,表面粗糙度,增加深宽比等方面的大量研究,但是鲜有对于SU-8微结构侧壁粗糙度的研究.该文从造成微结构侧壁粗糙度的原因人手,讨论了各个工艺参数对侧壁粗糙度的影响,并且通过优化工艺参数达到了降低SU-8微结构侧壁粗糙度的目的.
SU-8負性光刻膠可通過UV-LIGA技術得到高深寬比微結構,是微機械繫統(MEMS)製造中極具前景的一種技術.目前已有對于SU-8微結構的線寬變化,側壁傾角,錶麵粗糙度,增加深寬比等方麵的大量研究,但是鮮有對于SU-8微結構側壁粗糙度的研究.該文從造成微結構側壁粗糙度的原因人手,討論瞭各箇工藝參數對側壁粗糙度的影響,併且通過優化工藝參數達到瞭降低SU-8微結構側壁粗糙度的目的.
SU-8부성광각효가통과UV-LIGA기술득도고심관비미결구,시미궤계계통(MEMS)제조중겁구전경적일충기술.목전이유대우SU-8미결구적선관변화,측벽경각,표면조조도,증가심관비등방면적대량연구,단시선유대우SU-8미결구측벽조조도적연구.해문종조성미결구측벽조조도적원인인수,토론료각개공예삼수대측벽조조도적영향,병차통과우화공예삼수체도료강저SU-8미결구측벽조조도적목적.
