光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2008年
2期
398-402
,共5页
牛建钢%赵五洲%高巍%王翠表%孙维连
牛建鋼%趙五洲%高巍%王翠錶%孫維連
우건강%조오주%고외%왕취표%손유련
薄膜光学%TiBN%光学性质%第一性原理
薄膜光學%TiBN%光學性質%第一性原理
박막광학%TiBN%광학성질%제일성원리
立方型TiBN材料的光学性质对于深刻理解TiBN薄膜材料的光学性质,以及监测和控制TiBN薄膜材料的生长过程起着重要作用.使用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法计算了立方型TiBN的电子结构和光学性质,给出了电子态密度、介电常数、吸收系数、反射力、折射系数、消光系数等计算结果,并对计算结果作了分析.态密度图显示,存在源于B的2p态的态密度峰,分析认为这对立方型TiBN的光学吸收造成了明显影响.同时还计算了立方型TiBN的色度坐标,并根据计算结果对工艺参量与TiBN薄膜材料色度坐标之间的联系作出了分析.
立方型TiBN材料的光學性質對于深刻理解TiBN薄膜材料的光學性質,以及鑑測和控製TiBN薄膜材料的生長過程起著重要作用.使用基于密度汎函理論的平麵波超軟贗勢方法計算瞭立方型TiBN的電子結構和光學性質,給齣瞭電子態密度、介電常數、吸收繫數、反射力、摺射繫數、消光繫數等計算結果,併對計算結果作瞭分析.態密度圖顯示,存在源于B的2p態的態密度峰,分析認為這對立方型TiBN的光學吸收造成瞭明顯影響.同時還計算瞭立方型TiBN的色度坐標,併根據計算結果對工藝參量與TiBN薄膜材料色度坐標之間的聯繫作齣瞭分析.
립방형TiBN재료적광학성질대우심각리해TiBN박막재료적광학성질,이급감측화공제TiBN박막재료적생장과정기착중요작용.사용기우밀도범함이론적평면파초연안세방법계산료립방형TiBN적전자결구화광학성질,급출료전자태밀도、개전상수、흡수계수、반사력、절사계수、소광계수등계산결과,병대계산결과작료분석.태밀도도현시,존재원우B적2p태적태밀도봉,분석인위저대립방형TiBN적광학흡수조성료명현영향.동시환계산료립방형TiBN적색도좌표,병근거계산결과대공예삼량여TiBN박막재료색도좌표지간적련계작출료분석.
