材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2010年
8期
8-11
,共4页
姜大川%董伟%谭毅%王强%彭旭%李国斌
薑大川%董偉%譚毅%王彊%彭旭%李國斌
강대천%동위%담의%왕강%팽욱%리국빈
多晶硅%铝%电子束熔炼
多晶硅%鋁%電子束鎔煉
다정규%려%전자속용련
采用电子束熔炼方式,利用铝的蒸发系数较大的特点通过蒸发去除硅中的杂质铝.将实验的实测值与理论计算的蒸发量、损失量等加以比较,得到了铝在电子束下的蒸发去除速率由其在硅中扩散过程所决定的结论,并对铝的去除量与硅的损失量之间关系进行分析.
採用電子束鎔煉方式,利用鋁的蒸髮繫數較大的特點通過蒸髮去除硅中的雜質鋁.將實驗的實測值與理論計算的蒸髮量、損失量等加以比較,得到瞭鋁在電子束下的蒸髮去除速率由其在硅中擴散過程所決定的結論,併對鋁的去除量與硅的損失量之間關繫進行分析.
채용전자속용련방식,이용려적증발계수교대적특점통과증발거제규중적잡질려.장실험적실측치여이론계산적증발량、손실량등가이비교,득도료려재전자속하적증발거제속솔유기재규중확산과정소결정적결론,병대려적거제량여규적손실량지간관계진행분석.
