太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2011年
5期
680-683
,共4页
刘汉法%张化福%袁玉珍%袁长坤%类成新
劉漢法%張化福%袁玉珍%袁長坤%類成新
류한법%장화복%원옥진%원장곤%류성신
ZnO:Ti薄膜%透明导电薄膜%磁控溅射%光电性能
ZnO:Ti薄膜%透明導電薄膜%磁控濺射%光電性能
ZnO:Ti박막%투명도전박막%자공천사%광전성능
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜.SEM和XRD研究结果表明,ZnO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.讨论了薄膜厚度对掺钛氧化锌透明导电薄膜光学、电学性能的影响.当薄膜厚度为835nm时,薄膜具有最低电阻率3.34×10-4Ω·cm.所制备薄膜附着性能良好,在波长为500～800nm的可见光中平均透过率均超过91%,ZnO:Ti薄膜可用作薄膜太阳电池和液晶显示器的透明电极.
利用直流磁控濺射法在室溫水冷玻璃襯底上製備齣可見光透過率高、電阻率低的摻鈦氧化鋅(ZnO:Ti)透明導電薄膜.SEM和XRD研究結果錶明,ZnO:Ti薄膜為六角纖鋅礦結構的多晶薄膜,且具有c軸擇優取嚮.討論瞭薄膜厚度對摻鈦氧化鋅透明導電薄膜光學、電學性能的影響.噹薄膜厚度為835nm時,薄膜具有最低電阻率3.34×10-4Ω·cm.所製備薄膜附著性能良好,在波長為500～800nm的可見光中平均透過率均超過91%,ZnO:Ti薄膜可用作薄膜太暘電池和液晶顯示器的透明電極.
이용직류자공천사법재실온수랭파리츤저상제비출가견광투과솔고、전조솔저적참태양화자(ZnO:Ti)투명도전박막.SEM화XRD연구결과표명,ZnO:Ti박막위륙각섬자광결구적다정박막,차구유c축택우취향.토론료박막후도대참태양화자투명도전박막광학、전학성능적영향.당박막후도위835nm시,박막구유최저전조솔3.34×10-4Ω·cm.소제비박막부착성능량호,재파장위500～800nm적가견광중평균투과솔균초과91%,ZnO:Ti박막가용작박막태양전지화액정현시기적투명전겁.
