航空材料学报
航空材料學報
항공재료학보
JOURNAL OF AERONAUTICAL MATERIALS
2011年
6期
36-42
,共7页
刘岗%李国栋%熊翔%王雅雷%陈招科%孙威
劉崗%李國棟%熊翔%王雅雷%陳招科%孫威
류강%리국동%웅상%왕아뢰%진초과%손위
ZrC涂层%CVD%冷态输送ZrCl4%表面形貌%组织结构%生长机理
ZrC塗層%CVD%冷態輸送ZrCl4%錶麵形貌%組織結構%生長機理
ZrC도층%CVD%랭태수송ZrCl4%표면형모%조직결구%생장궤리
采用zrCl4-CH4-H2-Ar反应体系,冷态输送ZrCl4粉末化学气相沉积(CVD)制备ZrC涂层.采用热力学计算并结合实验结果分析了冷态输送ZrCl4化学气相沉积ZrC涂层的特点,采用X射线衍射仪和扫描电镜分析了涂层的物相组成、表面形貌和组织结构.结果表明:冷态输送ZrCl4粉末大幅度降低了ZrC的化学气相沉积温度,且容易获得大面积、结构均匀的ZrC涂层.涂层表面由直径在20 ～ 80nm之间的颗粒组成,为无规则“田状”组织.涂层结构主要为柱状晶,沿(200)面优先生长.分析了这种新型“田状”ZrC涂层组织的形成机理以及ZrC涂层的生长机制.
採用zrCl4-CH4-H2-Ar反應體繫,冷態輸送ZrCl4粉末化學氣相沉積(CVD)製備ZrC塗層.採用熱力學計算併結閤實驗結果分析瞭冷態輸送ZrCl4化學氣相沉積ZrC塗層的特點,採用X射線衍射儀和掃描電鏡分析瞭塗層的物相組成、錶麵形貌和組織結構.結果錶明:冷態輸送ZrCl4粉末大幅度降低瞭ZrC的化學氣相沉積溫度,且容易穫得大麵積、結構均勻的ZrC塗層.塗層錶麵由直徑在20 ～ 80nm之間的顆粒組成,為無規則“田狀”組織.塗層結構主要為柱狀晶,沿(200)麵優先生長.分析瞭這種新型“田狀”ZrC塗層組織的形成機理以及ZrC塗層的生長機製.
채용zrCl4-CH4-H2-Ar반응체계,랭태수송ZrCl4분말화학기상침적(CVD)제비ZrC도층.채용열역학계산병결합실험결과분석료랭태수송ZrCl4화학기상침적ZrC도층적특점,채용X사선연사의화소묘전경분석료도층적물상조성、표면형모화조직결구.결과표명:랭태수송ZrCl4분말대폭도강저료ZrC적화학기상침적온도,차용역획득대면적、결구균균적ZrC도층.도층표면유직경재20 ～ 80nm지간적과립조성,위무규칙“전상”조직.도층결구주요위주상정,연(200)면우선생장.분석료저충신형“전상”ZrC도층조직적형성궤리이급ZrC도층적생장궤제.
